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    静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法
    2.
    发明公开
    静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN118805247A

    公开(公告)日：2024-10-18

    申请号：CN202380024977.4

    申请日：2023-03-15

    Applicant: 住友大阪水泥股份有限公司

    Inventor： 吉冈良树 ,  钉本弘训 ,  高桥健太郎

    IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

    Abstract: 一种静电卡盘部件，其具备：第1板体、第2板体及第3板体，设置有搭载试样的载置面及位于与载置面相反的一侧的下表面，并且沿厚度方向依次层叠且彼此接合而成；第1电极层，位于第1板体与第2板体之间；供电部接合层，位于第2板体与第3板体之间；柱状的第1供电部，嵌入于第2板体；及柱状的第2供电部，嵌入于第3板体，所述第1供电部连接所述第1电极层与所述供电部接合层，所述第2供电部从所述供电部接合层向所述下表面侧延伸，所述第1电极层与所述第2供电部经由第1供电部及供电部接合层电连接。

    静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法
    4.
    发明公开
    静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 有权

    公开(公告)号：CN111684574A

    公开(公告)日：2020-09-18

    申请号：CN201980011884.1

    申请日：2019-02-19

    Applicant: 住友大阪水泥股份有限公司

    Inventor： 钉本弘训 ,  尾崎雅树 ,  渡边刚志 ,  高桥健太郎

    IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/683 ,  H02N13/00

    Abstract: 本发明的静电卡盘装置具备：载置台，设置有载置板状试样的载置面；圆环状的聚焦环；及冷却机构，冷却聚焦环，载置台具有围着载置面的周围设置的保持部，保持部上设置有包围载置面的周围的圆环状的槽部和向槽部的底面开口的贯穿孔，贯穿孔中插入有筒状的绝缘子，在保持部中，槽部的宽度方向两侧的上表面为与聚焦环接触并保持聚焦环的保持面，保持面满足下述条件(i)～(iii)。(i)表面粗糙度为0.05μm以下。(ii)平坦度为20μm以下。(iii)不具有沿与保持面交叉的方向延伸的深度1.0μm以上的凹部。

    静电吸盘装置
    5.
    发明授权
    静电吸盘装置 有权

    公开(公告)号：CN106716619B

    公开(公告)日：2020-09-15

    申请号：CN201580051119.4

    申请日：2015-09-24

    Applicant: 住友大阪水泥股份有限公司

    Inventor： 河野仁 ,  高桥健太郎 ,  牛坊文洋

    IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H02N13/00 ,  B23Q3/15

    Abstract: 本发明提供一种能够增大聚焦环的静电吸附力并能够均匀地对聚焦环进行冷却的静电吸盘装置。在本发明的静电吸盘装置(10)中，载置台(11)具有在载置面(24a)的周围沿着聚焦环(12)的周向设置并对聚焦环(12)进行静电吸附的保持部(15)，保持部(15)具有沿着周向设置并载置聚焦环(12)的一对堤部(16)和形成在它们之间的环状的槽部(17)，在一对堤部(16)中的至少位于聚焦环(12)的外周侧的堤部(16A)上，在与聚焦环(12)相对的面上形成包含多个微小突起的微小突起部，或者在槽部(17)的底面(17a)设置凸部(18)。凸部(18)不与聚焦环接触，一对堤部(16)或多个微小突起与聚焦环(12)接触，与凸部(18)协作而对聚焦环(12)进行静电吸附。

    静电吸盘装置
    6.
    发明公开
    静电吸盘装置 有权

    公开(公告)号：CN106716619A

    公开(公告)日：2017-05-24

    申请号：CN201580051119.4

    申请日：2015-09-24

    Applicant: 住友大阪水泥股份有限公司

    Inventor： 河野仁 ,  高桥健太郎 ,  牛坊文洋

    IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H02N13/00 ,  B23Q3/15

    Abstract: 本发明提供一种能够增大聚焦环的静电吸附力并能够均匀地对聚焦环进行冷却的静电吸盘装置。在本发明的静电吸盘装置(10)中，载置台(11)具有在载置面(24a)的周围沿着聚焦环(12)的周向设置并对聚焦环(12)进行静电吸附的保持部(15)，保持部(15)具有沿着周向设置并载置聚焦环(12)的一对堤部(16)和形成在它们之间的环状的槽部(17)，在一对堤部(16)中的至少位于聚焦环(12)的外周侧的堤部(16A)上，在与聚焦环(12)相对的面上形成包含多个微小突起的微小突起部，或者在槽部(17)的底面(17a)设置凸部(18)。凸部(18)不与聚焦环接触，一对堤部(16)或多个微小突起与聚焦环(12)接触，与凸部(18)协作而对聚焦环(12)进行静电吸附。

    静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法
    8.
    发明授权
    静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 有权

    公开(公告)号：CN111684574B

    公开(公告)日：2023-09-05

    申请号：CN201980011884.1

    申请日：2019-02-19

    Applicant: 住友大阪水泥股份有限公司

    Inventor： 钉本弘训 ,  尾崎雅树 ,  渡边刚志 ,  高桥健太郎

    IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/683 ,  H02N13/00

    Abstract: 本发明的静电卡盘装置具备：载置台，设置有载置板状试样的载置面；圆环状的聚焦环；及冷却机构，冷却聚焦环，载置台具有围着载置面的周围设置的保持部，保持部上设置有包围载置面的周围的圆环状的槽部和向槽部的底面开口的贯穿孔，贯穿孔中插入有筒状的绝缘子，在保持部中，槽部的宽度方向两侧的上表面为与聚焦环接触并保持聚焦环的保持面，保持面满足下述条件(i)～(iii)。(i)表面粗糙度为0.05μm以下。(ii)平坦度为20μm以下。(iii)不具有沿与保持面交叉的方向延伸的深度1.0μm以上的凹部。

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