层叠膜
    5.
    发明公开
    层叠膜 审中-公开

    公开(公告)号:CN118721907A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410358204.6

    申请日:2024-03-27

    Abstract: 本发明涉及层叠膜。一种层叠膜,其为包含含聚酰亚胺系树脂的层(PI‑1)和含聚酰亚胺系树脂的层(PI‑2)的层叠膜,在该层叠膜的厚度方向的截面中,前述层(PI‑1)的利用扫描型探针显微镜测定的平均弹性模量(1)、与前述层(PI‑2)的利用扫描型探针显微镜测定的平均弹性模量(2)之差大于0.22GPa。

    层叠膜
    6.
    发明公开
    层叠膜 审中-公开

    公开(公告)号:CN118721906A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410358109.6

    申请日:2024-03-27

    Abstract: 本发明涉及层叠膜。层叠膜,其为包含含聚酰亚胺系树脂的层(PI‑1)和含聚酰亚胺系树脂的层(PI‑2)的层叠膜,在该层叠膜的厚度方向的截面中,利用扫描型探针显微镜测定的层(PI‑1)及层(PI‑2)的平均弹性模量满足式(I)的关系。(E1r‑E1a)/(E2r‑E2a)≥1.00(I)。式(I)中,E1r表示悬臂探针的拉回过程中的层(PI‑1)的平均弹性模量,E1a表示悬臂探针的压入过程中的层(PI‑1)的平均弹性模量,E2r表示拉回过程中的层(PI‑2)的平均弹性模量,E2a表示压入过程中的层(PI‑2)的平均弹性模量,E1r‑E1a>0,E2r‑E2a>0。

    溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法

    公开(公告)号:CN116377401A

    公开(公告)日:2023-07-04

    申请号:CN202310394114.8

    申请日:2020-01-30

    Abstract: 本发明涉及溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法。本发明的课题是提供靶材不易剥离的溅射靶。本发明的溅射靶具备:背板;和靶材,其借助接合材料而接合于所述背板的接合区域,其中,所述靶材与所述背板之间的接合部位的接合面积相对于所述接合区域的面积而言为97%以上,在整个所述接合区域中,所述靶材与所述背板之间的不存在接合材料的部位的最大缺陷面积相对于所述接合区域的整面的面积而言为0.6%以下。

    溅射靶的制造方法及溅射靶

    公开(公告)号:CN109952389A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201880003495.X

    申请日:2018-09-21

    Abstract: 本发明的课题在于制造不易发生异常放电的溅射靶。本发明的解决手段为一种溅射靶的制造方法,其中,针对维氏硬度为100以下的、由金属构成的靶材的溅射面,使用号数相互不同的多种抛光材料,以从小号数至大号数的顺序进行多步抛光。

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