公开(公告)号：CN101084566A

公开(公告)日：2007-12-05

申请号：CN200580039492.4

申请日：2005-10-04

Applicant: 伊利诺伊大学受托管理委员会

Inventor： J·加里·埃登 ,  朴晟镇

IPC: H01J17/04 ,  H01J9/00 ,  H01J61/04

CPC classification number: H01J17/04 ,  H01J9/02

Abstract: 本发明的一个实施例为包括包封在电介质内的第一电极(230)的微放电装置，该电介质可以为纳米孔介电膜。提供也可以用电介质包封的第二电极(240)。这些电极配置成，当时变(AC、RF、双极或脉冲DC等)电势施加在电极之间时，在微腔内触发放电。在本发明的具体实施例中，第二电极可以是覆盖微腔开口的网，且该微腔在一端闭合。在本发明的一些实施例中，该第二电极可直接接触第一电极。在其他实施例中，一间隙分隔这些电极。在具有包封电极的微放电装置的优选制造方法中，金属基板用于形成纳米孔介电包封电极并溶解介电层的一部分。该介电层随后再次被阳极化，形成纳米孔介电包封电极，其纳米尺寸介电结构具有改善的规则性。在本发明的一些实施例中，电介质内的柱状孔洞可以用一种或多种材料回填，以进一步调整电介质的性能。