一种高灵敏度电容式柔性压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118603369A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410733877.5

    申请日:2024-06-07

    Abstract: 本申请属于柔性传感技术领域,尤其涉及一种高灵敏度电容式柔性压力传感器及其制备方法,高灵敏度电容式柔性压力传感器包括:含有第一高分子材料的基底层和在基底层上通过粘合连接的叉指电极层,叉指电极层为金属材料,叉指电极层的上部为敏感层,敏感层包括通过MXene和第二高分子材料形成的复合薄膜,电容式柔性压力传感器的最外侧为封装层。相比于现有技术中,柔性压力传感器通过在介电层或电极层中引入微观结构提高灵敏度导致的制备工艺复杂且不利于其小型化和集成化的问题。本申请通过选择合适叉指电极对数的数量和选择合适的介电层,提高传感器的灵敏度;通过实现柔性基底电极和电路共面,实现传感器的集成化与微型化。

    一种激光烧蚀制备柔性双面电致发光器件的方法及器件

    公开(公告)号:CN118055667A

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202410209103.2

    申请日:2024-02-26

    Abstract: 本发明涉及一种激光烧蚀制备柔性双面电致发光器件的方法及器件,该方法包括:获取两个覆铜薄膜基底,根据预设的电极图案对两个覆铜薄膜基底进行紫外激光烧蚀,得到第一电极层和第二电极层;制备电致发光层;将所述第一电极层和第二电极层分别固定在所述电致发光层的两面,得到柔性双面电致发光器件。本发明提供的激光烧蚀制备柔性双面电致发光器件的方法及器件,对制备环境要求低,工艺成本低,避免了复杂的制备工艺,具有高柔韧性、双面发光的特点。制备的柔性双面电致发光器件的电极图案具有形状可调,大小可调、颜色可调、柔性和超薄等优点。本发明的提供制备方法可重复加工,大规模生产,易于产业化。

    柔性透明导电电极的制备方法及柔性透明导电电极

    公开(公告)号:CN118073465A

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202410158523.2

    申请日:2024-02-04

    Abstract: 本发明涉及一种柔性透明导电电极的制备方法及柔性透明导电电极,该方法包括:获取覆铜薄膜基底;根据预设的电极图案对所述覆铜薄膜基底进行激光烧蚀,得到柔性透明导电电极。本发明使用纳秒激光直接烧蚀金属薄膜,制备成本相对较低。在常温环境条件下就可以完成,无需高温高压和湿法工艺,具有快速一步成型的优点。避免了湿法蚀刻导致的电极材料性能下降。本发明制备的柔性透明导电电极拥有较高的品质因数FOMe,高达1000以上。透光率可达90%以上,拥有较小的薄层电阻。与现有技术采用昂贵的飞秒激光制备柔性透明电极相比,本发明的制备成本较低,易于规模化生产,容易实现产业化。

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