一种高灵敏度电容式柔性压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118603369A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410733877.5

    申请日:2024-06-07

    Abstract: 本申请属于柔性传感技术领域,尤其涉及一种高灵敏度电容式柔性压力传感器及其制备方法,高灵敏度电容式柔性压力传感器包括:含有第一高分子材料的基底层和在基底层上通过粘合连接的叉指电极层,叉指电极层为金属材料,叉指电极层的上部为敏感层,敏感层包括通过MXene和第二高分子材料形成的复合薄膜,电容式柔性压力传感器的最外侧为封装层。相比于现有技术中,柔性压力传感器通过在介电层或电极层中引入微观结构提高灵敏度导致的制备工艺复杂且不利于其小型化和集成化的问题。本申请通过选择合适叉指电极对数的数量和选择合适的介电层,提高传感器的灵敏度;通过实现柔性基底电极和电路共面,实现传感器的集成化与微型化。

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