动态特性测量装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117686171A

    公开(公告)日:2024-03-12

    申请号:CN202310959955.9

    申请日:2023-08-01

    Abstract: 本发明公开了一种动态特性测量装置,动态特性测量装置(1)包括:在上下方向(V)上夹持并保持工件(W)的上侧保持部(8)和下侧保持部(7);通过上侧保持部对工件施加上下方向的预载荷(P)的预载荷生成机构(9);对工件施加水平方向(H)的振动(U)的激振装置(3);检测由激振装置对工件施加的载荷(F)的负载传感器(10);以及基于负载传感器所检测出的载荷来测量工件的水平方向的动态特性(K)的控制器(12)。上侧保持部经由空气轴承(20)以非接触的方式保持工件。由此,能够高精度地测量对工件施加了上下载荷时的工件的水平动态特性。

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