复合基板以及压电元件
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111788773B

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN201980016389.X

    申请日:2019-02-26

    Abstract: 本公开的复合基板具备:压电基板,具有第1面以及与第1面对置的第2面;支承基板,具有与所述第2面相接的第3面以及与该第3面对置的第4面;以及贯通孔,从所述第1面贯通至所述第4面。所述贯通孔具有从所述第1面起朝向所述第4面而直径减少的锥形形状,在所述支承基板内具有直径减少的台阶面。本公开的压电元件具备所述复合基板和位于所述贯通孔内的导电体。

    复合基板以及压电元件
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111788773A

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN201980016389.X

    申请日:2019-02-26

    Abstract: 本公开的复合基板具备:压电基板,具有第1面以及与第1面对置的第2面;支承基板,具有与所述第2面相接的第3面以及与该第3面对置的第4面;以及贯通孔,从所述第1面贯通至所述第4面。所述贯通孔具有从所述第1面起朝向所述第4面而直径减少的锥形形状,在所述支承基板内具有直径减少的台阶面。本公开的压电元件具备所述复合基板和位于所述贯通孔内的导电体。

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