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公开(公告)号:CN100373771C
公开(公告)日:2008-03-05
申请号:CN03152449.4
申请日:2003-07-31
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: H03H9/1085 , G01H3/12 , H01L21/561 , H01L23/3135 , H01L23/315 , H01L24/81 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/73203 , H01L2224/81801 , H01L2924/09701 , H03H3/08 , H03H9/059 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49002 , H01L2924/00012
Abstract: 一种弹性表面波装置,由以下部分构成:在钽酸锂压电衬底的一主面上形成了IDT电极、连接电极和外周密封电极的弹性表面波元件;形成了通过焊锡凸台构件与所述连接电极连接的元件连接用电极、通过焊锡密封构件与所述外周密封电极接合的外周密封导体膜的基衬底。而且,焊锡凸台构件和焊锡密封构件使用包含90%以上Sn的Sn-Sb类或Sn-Ag类的无铅焊锡,所述基衬底的热膨胀系数设定为9~20ppm/℃。可以提供一种对于热膨胀系数差引起的热应力能非常稳定地接合,并且能够维持长期稳定连接的弹性表面波装置。
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公开(公告)号:CN1892231A
公开(公告)日:2007-01-10
申请号:CN200610100053.6
申请日:2006-06-27
Applicant: 京瓷株式会社
Inventor: 桑畑道彦
Abstract: 本发明提供一种加速度传感器,其包括在长方体状的压电基板(21、22)的外侧主面配置导体膜(26、29)而构成的振动元件(2)、和夹持其一部分的第1支撑构件(3a、3b),第1支撑构件(3a、3b)由弹性体构成,振动元件的弯曲点位于由第1支撑构件(3a、3b)夹持的支撑区域(91)内。由此,压电基板(21、22)中产生应变的区域变大,产生的电荷增加,输出电压增大,从而可提高加速度的检测灵敏度。
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公开(公告)号:CN100588970C
公开(公告)日:2010-02-10
申请号:CN200610100053.6
申请日:2006-06-27
Applicant: 京瓷株式会社
Inventor: 桑畑道彦
Abstract: 本发明提供一种加速度传感器,其包括在长方体状的压电基板(21、22)的外侧主面配置导体膜(26、29)而构成的振动元件(2)、和夹持其一部分的第1支撑构件(3a、3b),第1支撑构件(3a、3b)由弹性体构成,振动元件的弯曲点位于由第1支撑构件(3a、3b)夹持的支撑区域(91)内。由此,压电基板(21、22)中产生应变的区域变大,产生的电荷增加,输出电压增大,从而可提高加速度的检测灵敏度。
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公开(公告)号:CN1476166A
公开(公告)日:2004-02-18
申请号:CN03152449.4
申请日:2003-07-31
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: H03H9/1085 , G01H3/12 , H01L21/561 , H01L23/3135 , H01L23/315 , H01L24/81 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/73203 , H01L2224/81801 , H01L2924/09701 , H03H3/08 , H03H9/059 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49002 , H01L2924/00012
Abstract: 一种弹性表面波装置,由以下部分构成:在钽酸锂压电衬底的一主面上形成了IDT电极、连接电极和外周密封电极的弹性表面波元件;形成了通过焊锡凸台构件与所述连接电极连接的元件连接用电极、通过焊锡密封构件与所述外周密封电极接合的外周密封导体膜的基衬底。而且,焊锡凸台构件和焊锡密封构件使用包含90%以上Sn的Sn-Sb类或Sn-Ag类的无铅焊锡,所述基衬底的热膨胀系数设定为9~20ppm/℃。可以提供一种对于热膨胀系数差引起的热应力能非常稳定地接合,并且能够维持长期稳定连接的弹性表面波装置。
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