一种利用THz信号进行真空度检测的方法

    公开(公告)号:CN111024305A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201911260817.1

    申请日:2019-12-10

    Abstract: 本发明涉及一种利用THz信号进行真空度检测的方法,该方法是在某一真空度下,分别采集该真空度下入射的和透射过后的THz信号数据,傅里叶变换后归一化,求得入射频谱和出射频谱的幅度变化程度P(n),并计算归一化后入射频谱和出射频率的频率变化值;做傅里叶反变换,得到对应的频率,选择其中的最大值fmax;调整真空度,重复上述步骤,以fmax横坐标,P(n)为纵坐标,绘制幅度差值-频率图;之后选择幅度差值最大的频率,设置为检测专用频率,以真空度为横坐标,P(n)为纵坐标,制作幅度差值和真空度的拟合曲线,从而实现真空度的定标检测。该方法具有测量精确、优化数据、稳定直观的优点,易于推广应用。

    一种利用THz信号进行真空度检测的方法

    公开(公告)号:CN111024305B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201911260817.1

    申请日:2019-12-10

    Abstract: 本发明涉及一种利用THz信号进行真空度检测的方法,该方法是在某一真空度下,分别采集该真空度下入射的和透射过后的THz信号数据,傅里叶变换后归一化,求得入射频谱和出射频谱的幅度变化程度P(n),并计算归一化后入射频谱和出射频率的频率变化值;做傅里叶反变换,得到对应的频率,选择其中的最大值fmax;调整真空度,重复上述步骤,以fmax横坐标,P(n)为纵坐标,绘制幅度差值‑频率图;之后选择幅度差值最大的频率,设置为检测专用频率,以真空度为横坐标,P(n)为纵坐标,制作幅度差值和真空度的拟合曲线,从而实现真空度的定标检测。该方法具有测量精确、优化数据、稳定直观的优点,易于推广应用。

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