公开(公告)号：CN118759641A

公开(公告)日：2024-10-11

申请号：CN202411251008.5

申请日：2024-09-06

Applicant: 之江实验室

Inventor： 何冰晓 ,  朱洪力 ,  邹黎明 ,  洪悦 ,  严国锋

IPC: G02B6/138

Abstract: 本申请提供一种光子引线及其制备方法和应用。所述光子引线的制备方法包括将光子引线虚拟原型进行细分处理得到多个细分部分，将多个细分部分中虚拟支撑台的中心线设计成直线，虚拟支撑跨梁的中心线设计成抛物线或悬链线。在制图软件中建立空间直角坐标系并绘制出各个细分部分的中心线，然后对各个中心线进行三维等距离拉伸形成光子引线的三维模型，输出光子引线文件并将其导入至光刻设备中，将光刻设备内置的三维空间坐标系与空间直角坐标系进行对准，并设计光刻设备的工艺参数，对形成于基板上的光刻胶进行光刻，再进行显影和干燥处理制备得到光子引线。本申请提供的制备方法可以制备出结构稳定可靠的光子引线。

公开(公告)号：CN118759641B

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202411251008.5

申请日：2024-09-06

Applicant: 之江实验室

Inventor： 何冰晓 ,  朱洪力 ,  邹黎明 ,  洪悦 ,  严国锋

IPC: G02B6/138

Abstract: 本申请提供一种光子引线及其制备方法和应用。所述光子引线的制备方法包括将光子引线虚拟原型进行细分处理得到多个细分部分，将多个细分部分中虚拟支撑台的中心线设计成直线，虚拟支撑跨梁的中心线设计成抛物线或悬链线。在制图软件中建立空间直角坐标系并绘制出各个细分部分的中心线，然后对各个中心线进行三维等距离拉伸形成光子引线的三维模型，输出光子引线文件并将其导入至光刻设备中，将光刻设备内置的三维空间坐标系与空间直角坐标系进行对准，并设计光刻设备的工艺参数，对形成于基板上的光刻胶进行光刻，再进行显影和干燥处理制备得到光子引线。本申请提供的制备方法可以制备出结构稳定可靠的光子引线。