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公开(公告)号：CN106058280B
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201610224747.4
申请日：2016-04-12
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: H01M8/0228
Abstract: 本发明提供燃料电池用隔板的制造方法及燃料电池用隔板，能够提高碳膜相对于钛基材的紧贴性且耐腐蚀性也良好。本实施方式的燃料电池用隔板的制造方法具有以下工序：在钛基材(40)上形成TiOx(1
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公开(公告)号：CN107452588B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201710271263.X
申请日：2017-04-24
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明涉及等离子体装置。利用等离子体对工件的一部分进行成膜或蚀刻的等离子体装置具备：真空容器，具备第一模和第二模，所述第一模具备第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周围的第一平面部，所述第二模与第一模对向地配置；绝缘部件，配置于第一平面部与第二模之间，在使工件的被处理对象部分朝向第一凹陷部内的空间并且使工件从第一平面部离开的状态下与工件接触；以及电力施加部，向工件施加电力。工件与绝缘部件间的接触点中的最靠近所述第一平面部的接触点和第一平面部之间的距离小于工件和第一凹陷部的底部之间的距离。
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公开(公告)号：CN105556720B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201480051872.9
申请日：2014-09-18
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: H01M8/0228
CPC classification number: H01M8/0213 , H01M4/926 , H01M8/0206 , H01M8/0228 , H01M8/1004 , H01M8/1007 , H01M8/1039 , H01M2008/1095 , H01M2300/0082 , Y02P70/56
Abstract: 燃料电池隔片(110)包含导电性基材和在基材上形成的碳膜(120)。碳膜(120)包括最接近基材形成的第一层(121)和最远离基材形成的第二层(122)。包含在第一层(121)中的碳颗粒的直径为19nm或更小，且小于包含在不同于第一层(121)的碳膜层中的碳颗粒的直径，且包含在第二层(122)中的碳颗粒的直径为40nm或更小。
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公开(公告)号：CN106058280A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610224747.4
申请日：2016-04-12
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: H01M8/0228
CPC classification number: H01M8/0228 , H01M8/0206 , H01M8/0213 , H01M8/0217 , Y02P70/56
Abstract: 本发明提供燃料电池用隔板的制造方法及燃料电池用隔板，能够提高碳膜相对于钛基材的紧贴性且耐腐蚀性也良好。本实施方式的燃料电池用隔板的制造方法具有以下工序：在钛基材(40)上形成TiOx(1
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公开(公告)号：CN105449238B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201510594003.7
申请日：2015-09-17
Applicant: 丰田自动车株式会社
Inventor： 小泉雅史
IPC: H01M8/0258 , C23C16/26
Abstract: 一种用于燃料电池的分离器的制造方法，该制造方法是一种用于通过CVD在钛基材(41)上形成碳涂覆膜(50)的方法，钛基材(41)在钛基材(41)的表面上具有氧化钛层(41a)。该方法包括：形成其中将在其表面上具有氧化钛层(41a)的钛基材(41)置于真空氛围中的状态的步骤；在形成碳涂覆膜(50)之前或者在碳涂覆膜(50)正在形成时利用具有等于或者短于390nm的波长的光照射钛基材(41)的氧化钛层(41a)的表面的照射步骤；和在于照射步骤中利用光照射的氧化钛层(41a)的表面上形成碳涂覆膜的步骤。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107452588A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710271263.X
申请日：2017-04-24
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32366 , H01J37/32431 , H01J37/32798
Abstract: 本发明涉及等离子体装置。通过等离子体CVD法对工件的一部分进行成膜或蚀刻的等离子体装置具备：真空容器，具备第一模和第二模，所述第一模具备第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周围的第一平面部，所述第二模与第一模对向地配置；绝缘部件，配置于第一平面部与第二模之间，在使工件的被处理对象部分朝向第一凹陷部内的空间并且使工件从第一平面部离开的状态下与工件接触；以及电力施加部，向工件施加电力。工件与绝缘部件间的接触点和第一平面部之间的距离小于工件和第一凹陷部的底部之间的距离。
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公开(公告)号：CN104080945B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380007324.1
申请日：2013-01-25
Applicant: 株式会社丰田中央研究所 , 丰田自动车株式会社
CPC classification number: H01M8/0228 , C01B32/05 , C23C16/26 , C23C16/45523 , C23C16/50 , H01M8/0206 , H01M8/0213 , H01M2008/1095 , Y02P70/56
Abstract: 一种无定形碳膜，以碳为主成分，包含30at％以下的氢、20at％以下的氮以及3at％以下的氧，且在将该碳的总量设为100at％时，具有sp2杂化轨道的碳量为70at％以上且小于100at％，所述氢、氮以及氧的含量都不包括0at％。氮和氧在膜表面侧浓化而存在，利用X射线光电子光谱法从表层检测到的氧的含有率为4at％以上15at％以下、氮的含有率为10at％以上30at％以下。无定形碳膜兼具导电性和亲水性，显示出适合于燃料电池用隔板等的表面性状。
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公开(公告)号：CN105556720A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480051872.9
申请日：2014-09-18
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: H01M8/0228
CPC classification number: H01M8/0213 , H01M4/926 , H01M8/0206 , H01M8/0228 , H01M8/1004 , H01M8/1007 , H01M8/1039 , H01M2008/1095 , H01M2300/0082 , Y02P70/56
Abstract: 燃料电池隔片(110)包含导电性基材和在基材上形成的碳膜(120)。碳膜(120)包括最接近基材形成的第一层(121)和最远离基材形成的第二层(122)。包含在第一层(121)中的碳颗粒的直径为19nm或更小，且小于包含在不同于第一层(121)的碳膜层中的碳颗粒的直径，且包含在第二层(122)中的碳颗粒的直径为40nm或更小。
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公开(公告)号：CN105449238A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510594003.7
申请日：2015-09-17
Applicant: 丰田自动车株式会社
Inventor： 小泉雅史
IPC: H01M8/0258 , C23C16/26
CPC classification number: H01M8/0228 , C23C16/0245 , C23C16/26 , H01M8/0206 , H01M8/0213 , H01M8/0215 , H01M2008/1095 , Y02P70/56 , H01M8/0258
Abstract: 一种用于燃料电池的分离器的制造方法，该制造方法是一种用于通过CVD在钛基材(41)上形成碳涂覆膜(50)的方法，钛基材(41)在钛基材(41)的表面上具有氧化钛层(41a)。该方法包括：形成其中将在其表面上具有氧化钛层(41a)的钛基材(41)置于真空氛围中的状态的步骤；在形成碳涂覆膜(50)之前或者在碳涂覆膜(50)正在形成时利用具有等于或者短于390nm的波长的光照射钛基材(41)的氧化钛层(41a)的表面的照射步骤；和在于照射步骤中利用光照射的氧化钛层(41a)的表面上形成碳涂覆膜的步骤。
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公开(公告)号：CN106133190B
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201580014820.9
申请日：2015-03-16
Applicant: 丰田自动车株式会社
Abstract: 提供在使用了高电压的情况下也能抑制异常放电的等离子体CVD装置。等离子体CVD装置(100)的特征在于，具备：形成等离子体空间的腔室(61)、配置于贯通腔室(61)的壁(61a)的端子导入孔(62)的电力导入端子(10)，电力导入端子(10)具有绝缘件(21)和棒状导电体(11)，绝缘件(21)具有贯通孔(22)，棒状导电体(11)插通于贯通孔(22)，棒状导电体(11)的一端配置在腔室(61)内，棒状导电体(11)的另一端与向腔室(61)内供给电力的电源(E)电连接，绝缘件(21)的内壁面(211)与棒状导电体(11)之间的间隙小于2mm，从绝缘件(21)的配置于腔室(61)内的等离子体空间的一端至绝缘件(21)与棒状导电体(11)的接点(221)为止的距离比10mm大。
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