公开(公告)号：CN112053966A

公开(公告)日：2020-12-08

申请号：CN201910492031.6

申请日：2019-06-06

Applicant: 中芯长电半导体(江阴)有限公司

Inventor： 王厚农 ,  李彦勋 ,  顾雯霞 ,  罗世凯

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供一种CP探针机及其调节方法，CP探针机包括晶圆承载台；至少两个高度调节装置，高度调节装置与晶圆承载台相接触；支撑件，支撑件与晶圆承载台活动连接，通过支撑件支撑晶圆承载台，且支撑件位于高度调节装置之间；控制器，控制器与高度调节装置电连接，通过控制器调节高度调节装置的高度，以调节晶圆承载台的水平位置。本发明可实现对晶圆承载台的水平位置的调节，从而使得CP探针机可自动检测及校正探针卡与晶圆承载台之间的相互水平位置，提高生产效率、提高CP测试结果准确性、提高产品质量、降低成本，并提高了CP探针机的适用性。

公开(公告)号：CN209843667U

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：CN201920859032.5

申请日：2019-06-06

Applicant: 中芯长电半导体(江阴)有限公司

Inventor： 王厚农 ,  李彦勋 ,  顾雯霞 ,  罗世凯

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 本实用新型提供一种CP探针机，CP探针机包括晶圆承载台；至少两个高度调节装置，高度调节装置与晶圆承载台相接触；支撑件，支撑件与晶圆承载台活动连接，通过支撑件支撑晶圆承载台，且支撑件位于高度调节装置之间；控制器，控制器与高度调节装置电连接，通过控制器调节高度调节装置的高度，以调节晶圆承载台的水平位置。本实用新型可实现对晶圆承载台的水平位置的调节，从而使得CP探针机可自动检测及校正探针卡与晶圆承载台之间的相互水平位置，提高生产效率、提高CP测试结果准确性、提高产品质量、降低成本，并提高了CP探针机的适用性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利