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公开(公告)号：CN104034220B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201410216000.5
申请日：2014-05-21
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B3/10
Abstract: 本发明公开一种大长度线纹计量器具自动校准系统及方法，校准系统包括：支撑导轨；运动小车，能够沿支撑导轨移动；电驱动装置，为运动小车供电，通信为无线通信，运动小车具备锁停、快速粗动、精密慢速微动调节功能；CCD显微镜，用于获取刻线图像和刻线信号，具有图像接收和无线发送功能；测长标准器，检测运动小车移动距离；计算机，控制小车定位瞄准刻线，以及计算示值误差实现刻线间距自动校准。本发明提供的校准系统及方法，实现了大长度线纹计量器具的高精度刻线瞄准的自动校准，能够解决目前人工校准存在费时费力、效率低下且校准精度较低的问题。
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公开(公告)号：CN102004027B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200910176442.0
申请日：2009-09-15
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了满足高精度、大行程和微步距、可对二维光学线纹标准器(或掩膜板、网格板)进行高精度测量和溯源的激光两坐标标准装置。包括基座，关键是基座平面上设有具X、Y方向的共面气浮位移平台，气浮位移平台上设有零膨胀玻璃平台，被测件放置在零膨胀玻璃平台上，基座置于4个气浮脚支承上，气浮位移平台设有可X、Y方向位移的驱动装置，气浮位移平台上还有满足阿贝原则的激光测量装置和光学成像装置。本发明所使用的激光位置反馈分辨率为10nm，测长分辨率为0.3nm，保证整个系统实现大行程、微步距及纳米级的定位精度。
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公开(公告)号：CN104034220A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410216000.5
申请日：2014-05-21
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B3/10
Abstract: 本发明公开一种大长度线纹计量器具自动校准系统及方法，校准系统包括：支撑导轨；运动小车，能够沿支撑导轨移动；电驱动装置，为运动小车供电，通信为无线通信，运动小车具备锁停、快速粗动、精密慢速微动调节功能；CCD显微镜，用于获取刻线图像和刻线信号，具有图像接收和无线发送功能；测长标准器，检测运动小车移动距离；计算机，控制小车定位瞄准刻线，以及计算示值误差实现刻线间距自动校准。本发明提供的校准系统及方法，实现了大长度线纹计量器具的高精度刻线瞄准的自动校准，能够解决目前人工校准存在费时费力、效率低下且校准精度较低的问题。
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公开(公告)号：CN103630164A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201310717911.1
申请日：2013-12-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01D21/00
Abstract: 本发明实施例公开了双路干涉信号正交标准化方法及装置。所述方法包括：确定第一待处理信号及第二待处理信号；对第一及第二待处理信号分别进行去直流处理，生成第一及第二去直流信号；对第一及第二去直流信号分别进行幅度单位化，生成第一及第二单位化信号；对第一与第二单位化信号进行正交化处理，得到第一与第二正交化信号；对第一及第二正交化信号分别进行幅度单位化处理，实现双路干涉信号正交标准化。所述装置包括：输入单元，去直流单元，第一单位化单元，正交化单元，第二单位化单元。本发明实施例提供的方法及装置由于采用硬件电路来实现干涉信号的调节和处理，信号处理速度快、频率响应高，信号处理环节少而不易使原始信号质量降低。
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公开(公告)号：CN102004027A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200910176442.0
申请日：2009-09-15
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了满足高精度、大行程和微步距、可对二维光学线纹标准器(或掩膜板、网格板)进行高精度测量和溯源的激光两坐标标准装置。包括基座，关键是基座平面上设有具X、Y方向的共面气浮位移平台，气浮位移平台上设有零膨胀玻璃平台，被测件放置在零膨胀玻璃平台上，基座置于4个气浮脚支承上，气浮位移平台设有可X、Y方向位移的驱动装置，气浮位移平台上还有满足阿贝原则的激光测量装置和光学成像装置。本发明所使用的激光位置反馈分辨率为10nm，测长分辨率为0.3nm，保证整个系统实现大行程、微步距及纳米级的定位精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102636127B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201210123947.2
申请日：2012-04-26
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种轨迹跟踪式干涉信号计数细分装置及方法。该装置包括光电信号接收与转换电路、信号调理电路、至少两个模拟数字转换器、位置跟踪脉冲发生电路、细分电路模块、大小数结合及位移解算电路等。其中，通过对双路干涉信号分析处理产生大数、对单路信号细分产生小数，使得干涉信号的相位非正交误差不会影响细分精度；采用基于特征位置的轨迹跟踪方法实现干涉条纹计数，解决在有振动等干扰情况下的正确计数问题；采用硬件电路实现轨迹跟踪细分计数，计数速度只受硬件电路的频响限制，因而可以用于高速位移测量。
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公开(公告)号：CN104089581A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201410370836.0
申请日：2014-07-30
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开一种长光栅微密线纹测量系统及方法，系统主要包括运动台(14)、激光干涉测长子系统(13)、信号处理及结果显示子系统和光电显微镜子系统(11)。其关键技术特征为测量信号的高速同步采集以及干涉测长电信号与刻线电信号的关联处理，以消除测量速度对于测量结果的影响。稳频激光源作为干涉光源使得测量结果可以直接溯源到激光标准波长，提高了测量精度。采用双向测量、数据拼接的方法解决了长工作距离下显微镜低倍率时起始端刻线信号失真致单向无法完成测量的问题，测量是运动台运动下的动态扫描测量，可以实现快速测量，有效解决了尺寸达几百毫米较大长度的长光栅微密线纹的测量问题。
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公开(公告)号：CN104089561A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201410369762.9
申请日：2014-07-30
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B5/12
Abstract: 本发明公开的深孔内径测量系统，包括沿深孔轴向移动的测量主体及与测量主体相连的测控装置；测量主体包括：腔体；均布于腔体外的至少三排支撑滚轮，支撑滚轮中的一个是带有驱动的驱动轮；均布于腔体外的至少两个止停球；设在腔体一端的旋转测量盘，旋转测量盘径向设有多个用于测量深孔内径的电涡流位移传感器，电涡流位移传感器设计为基于简单的串联谐振原理，实现1mm测量范围内20mv/μm的高灵敏度；止停球、驱动轮、旋转测量盘分别由相应的驱动装置驱动；测控装置包括第一控制模块，第二控制模块，第三控制模块和处理多个电涡流位移传感器输出的电压信号及计算深孔内径的测量计算模块。上述系统能够实现深孔内径的测量和提高深孔内径测量精度。
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公开(公告)号：CN103630164B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201310717911.1
申请日：2013-12-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01D21/00
Abstract: 本发明实施例公开了双路干涉信号正交标准化方法及装置。所述方法包括：确定第一待处理信号及第二待处理信号；对第一及第二待处理信号分别进行去直流处理，生成第一及第二去直流信号；对第一及第二去直流信号分别进行幅度单位化，生成第一及第二单位化信号；对第一与第二单位化信号进行正交化处理，得到第一与第二正交化信号；对第一及第二正交化信号分别进行幅度单位化处理，实现双路干涉信号正交标准化。所述装置包括：输入单元，去直流单元，第一单位化单元，正交化单元，第二单位化单元。本发明实施例提供的方法及装置由于采用硬件电路来实现干涉信号的调节和处理，信号处理速度快、频率响应高，信号处理环节少而不易使原始信号质量降低。
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公开(公告)号：CN104089581B
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201410370836.0
申请日：2014-07-30
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开一种长光栅微密线纹测量系统及方法，系统主要包括运动台(14)、激光干涉测长子系统(13)、信号处理及结果显示子系统和光电显微镜子系统(11)。其关键技术特征为测量信号的高速同步采集以及干涉测长电信号与刻线电信号的关联处理，以消除测量速度对于测量结果的影响。稳频激光源作为干涉光源使得测量结果可以直接溯源到激光标准波长，提高了测量精度。采用双向测量、数据拼接的方法解决了长工作距离下显微镜低倍率时起始端刻线信号失真致单向无法完成测量的问题，测量是运动台运动下的动态扫描测量，可以实现快速测量，有效解决了尺寸达几百毫米较大长度的长光栅微密线纹的测量问题。
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