一种激光两坐标装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102004027B

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN200910176442.0

    申请日:2009-09-15

    Abstract: 本发明公开了满足高精度、大行程和微步距、可对二维光学线纹标准器(或掩膜板、网格板)进行高精度测量和溯源的激光两坐标标准装置。包括基座,关键是基座平面上设有具X、Y方向的共面气浮位移平台,气浮位移平台上设有零膨胀玻璃平台,被测件放置在零膨胀玻璃平台上,基座置于4个气浮脚支承上,气浮位移平台设有可X、Y方向位移的驱动装置,气浮位移平台上还有满足阿贝原则的激光测量装置和光学成像装置。本发明所使用的激光位置反馈分辨率为10nm,测长分辨率为0.3nm,保证整个系统实现大行程、微步距及纳米级的定位精度。

    一种激光两坐标装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102004027A

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:CN200910176442.0

    申请日:2009-09-15

    Abstract: 本发明公开了满足高精度、大行程和微步距、可对二维光学线纹标准器(或掩膜板、网格板)进行高精度测量和溯源的激光两坐标标准装置。包括基座,关键是基座平面上设有具X、Y方向的共面气浮位移平台,气浮位移平台上设有零膨胀玻璃平台,被测件放置在零膨胀玻璃平台上,基座置于4个气浮脚支承上,气浮位移平台设有可X、Y方向位移的驱动装置,气浮位移平台上还有满足阿贝原则的激光测量装置和光学成像装置。本发明所使用的激光位置反馈分辨率为10nm,测长分辨率为0.3nm,保证整个系统实现大行程、微步距及纳米级的定位精度。

    一种用于应变计校准的夹具

    公开(公告)号:CN109827539A

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201811576035.4

    申请日:2019-04-26

    Abstract: 本发明涉及一种用于应变计校准的夹具,属于测试计量领域,包括旋转螺母、上夹块、上旋转螺母、支架、锁紧螺栓、位移传感器、下旋转螺母、应变计夹头、夹紧块和下夹块。所述上夹块通过插销与拉力试验机的中横梁上的接头连接;所述旋转螺母用于锁紧上夹块;所述上旋转螺母与上夹块通过螺纹配合;所述支架对称安装在上夹块的两侧;所述位移传感器位于支架的通孔中,并用锁紧螺栓固定;所述下旋转螺母与应变计夹头通过螺纹配合;所述应变计夹头安装于下夹块的半圆槽中,并用夹紧块将其固定;所述下夹块通过插销与拉力试验机的底部接头相连接。本发明降低了校准时应变计产生滑动的可能性,在一个试验中可实现拉伸和压缩测试。

    长光栅微密线纹测量系统及方法

    公开(公告)号:CN104089581B

    公开(公告)日:2016-11-02

    申请号:CN201410370836.0

    申请日:2014-07-30

    Abstract: 本发明公开一种长光栅微密线纹测量系统及方法,系统主要包括运动台(14)、激光干涉测长子系统(13)、信号处理及结果显示子系统和光电显微镜子系统(11)。其关键技术特征为测量信号的高速同步采集以及干涉测长电信号与刻线电信号的关联处理,以消除测量速度对于测量结果的影响。稳频激光源作为干涉光源使得测量结果可以直接溯源到激光标准波长,提高了测量精度。采用双向测量、数据拼接的方法解决了长工作距离下显微镜低倍率时起始端刻线信号失真致单向无法完成测量的问题,测量是运动台运动下的动态扫描测量,可以实现快速测量,有效解决了尺寸达几百毫米较大长度的长光栅微密线纹的测量问题。

    长光栅微密线纹测量系统及方法

    公开(公告)号:CN104089581A

    公开(公告)日:2014-10-08

    申请号:CN201410370836.0

    申请日:2014-07-30

    Abstract: 本发明公开一种长光栅微密线纹测量系统及方法,系统主要包括运动台(14)、激光干涉测长子系统(13)、信号处理及结果显示子系统和光电显微镜子系统(11)。其关键技术特征为测量信号的高速同步采集以及干涉测长电信号与刻线电信号的关联处理,以消除测量速度对于测量结果的影响。稳频激光源作为干涉光源使得测量结果可以直接溯源到激光标准波长,提高了测量精度。采用双向测量、数据拼接的方法解决了长工作距离下显微镜低倍率时起始端刻线信号失真致单向无法完成测量的问题,测量是运动台运动下的动态扫描测量,可以实现快速测量,有效解决了尺寸达几百毫米较大长度的长光栅微密线纹的测量问题。

    一种用于应变传感器性能检测的无钳口一体式试验机夹具

    公开(公告)号:CN210293194U

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201822161332.4

    申请日:2018-12-22

    Abstract: 本实用新型设计一种用于应变传感器性能检测的无钳口一体式试验机夹具,属于计量测试领域,其中夹具头的一端与拉力试验机接头连接;夹具头具有内腔结构,其底部有安装应变传感器的工作面和槽型结构;固定轴安装在夹具头上,手柄可绕夹具头上的固定轴运动;压板安装在夹具头内的槽型结构中,压板的一端具有齿形结构并与手柄一端的扇形齿啮合,通过上下转动夹具头一侧的手柄,可实现控制夹具头内压板的上下运动;挡板固定在压板的外侧且安装夹具头上;压板的另一端有圆形或矩形凸台,弹簧在垫圈和压板另一端之间且始终处于压缩状态;应变传感器安装在压板和夹具头工作面之间。本实用新型结构简单,可满足对不同标距应变传感器性能检测的需求。

    一种应变计标定装置
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209446021U

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201822161314.6

    申请日:2018-12-22

    Abstract: 本实用新型涉及一种应变计标定装置,属于测试计量领域。包括操作机构、支架、测量机构和装夹机构。所述操作机构包括手柄与丝杠,位于支架的一端;所述支架的固定立板和移动立板通过横梁连接;所述测量机构包括双头传感器夹块、螺栓、位移传感器,所述双头传感器夹块安装于支架的第三根横梁上,且位于右侧移动立板的左侧,所述位移传感器安装于双头传感器夹块的两个通孔中,两个位移传感器轴线关于应变计的轴线对称;所述装夹机构包括固定在移动立板和固定立板半圆槽中的旋转螺母和圆柱夹头,用于安装被测应变计。本实用新型能够满足不同直径应变计的标定需求,有效减小了阿贝误差的影响,提高了测量精度。

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