公开(公告)号：CN110986846B

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN201911257083.1

申请日：2019-12-10

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 朱振东 ,  谭峭峰 ,  屈继峰 ,  高思田

IPC: G01B21/04

Abstract: 本申请提供一种多量值计量标准器以及多量值计量标准器制备方法。通过第一正方形结构(S1)、第二正方形结构(S2)、第三正方形结构(S3)以及长方形结构(P)等结构，可以任意组合构造出多量值计量标准器。此时，多量值计量标准器具有量值多、量值范围宽、且可结合集成电路工艺节点和精密测量需求，根据多量值纳米结构构建所对应的标准器量值等优点，为半导体制备工艺线的关键尺寸、关键线宽、特征纳米结构等提供准确测量依据，为大型精密仪器提供便携的原位的校准多个参考量值。多量值计量标准器解决了传统标准器的单一量值只能校准一个量程的弊端，提升了应用领域和量值传递的可靠性与一致性。

公开(公告)号：CN110986846A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201911257083.1

申请日：2019-12-10

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 朱振东 ,  谭峭峰 ,  屈继峰 ,  高思田

IPC: G01B21/04

Abstract: 本申请提供一种多量值计量标准器以及多量值计量标准器制备方法。通过第一正方形结构(S1)、第二正方形结构(S2)、第三正方形结构(S3)以及长方形结构(P)等结构，可以任意组合构造出多量值计量标准器。此时，多量值计量标准器具有量值多、量值范围宽、且可结合集成电路工艺节点和精密测量需求，根据多量值纳米结构构建所对应的标准器量值等优点，为半导体制备工艺线的关键尺寸、关键线宽、特征纳米结构等提供准确测量依据，为大型精密仪器提供便携的原位的校准多个参考量值。多量值计量标准器解决了传统标准器的单一量值只能校准一个量程的弊端，提升了应用领域和量值传递的可靠性与一致性。