公开(公告)号：CN116358700A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202310649178.8

申请日：2023-06-02

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 孙青 ,  杨宏 ,  孙振山 ,  孙若端

IPC: G01J1/42 ,  G01J1/02

Abstract: 本发明公开了一种基于微悬臂器件的激光功率测量装置与方法，包括高能激光发射单元，所述测量模块包括微悬臂器件和玻璃板，在所述高能激光发射单元的入射光路上设置微悬臂器件，光纤干涉仪通过探测光纤与测量模块连接用以测量微悬臂器件中心盘位移量，所述微悬臂器件和所述玻璃板之间设置有腔体用以产生压膜阻尼,用以提高信噪比和阻尼振动时间参数。本发明结构简单，利用压膜阻尼便可抑制阻尼振动和噪声，无需考虑双弹簧芯片质量平衡的问题；相比于电容式压力传感器：避免了电容边缘场效应带来的测量误差，具有更高的信噪比。

公开(公告)号：CN114289908A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202111578355.5

申请日：2021-12-22

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 孙青 ,  孙振山 ,  杨宏 ,  丁晴

IPC: B23K26/70

Abstract: 本发明涉及一种激光功率实时在线监测装置及方法和激光加工系统，监测装置包括外壳、称重模块、监测模块、传感反射组件、入射接头和至少一个出射接头，称重模块固定安装在外壳内，并与监测模块通讯连接，传感反射组件固定安装在称重模块上；入射接头和所有的出射接头分别固定安装在外壳的两侧，并分别与外壳连通；激光由入射接头射入外壳内，经传感反射组件反射后由出射接头射出；本发明还提供一种激光功率实时在线监测方法及激光加工系统。本发明的有益效果是可实现激光功率的在线测量，测量准确性高，且具有体积小、重量轻、响应速度快及无需水冷等特性；另外，可实现多个产品的同步加工，加工效率高。

公开(公告)号：CN216680796U

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN202123240521.9

申请日：2021-12-22

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 孙青 ,  孙振山 ,  杨宏 ,  丁晴

IPC: B23K26/70

Abstract: 本实用新型涉及一种激光功率实时在线监测装置和激光加工系统，监测装置包括外壳、称重模块、监测模块、传感反射组件、入射接头和至少一个出射接头，称重模块固定安装在外壳内，并与监测模块通讯连接，传感反射组件固定安装在称重模块上；入射接头和所有的出射接头分别固定安装在外壳的两侧，并分别与外壳连通；激光由入射接头射入外壳内，经传感反射组件反射后由出射接头射出；本实用新型还提供一种激光加工系统。本实用新型的有益效果是可实现激光功率的在线测量，测量准确性高，且具有体积小、重量轻、响应速度快及无需水冷等特性；另外，可实现多个产品的同步加工，加工效率高。