提高光栅周期测量精度的装置和方法

    公开(公告)号:CN112880973B

    公开(公告)日:2022-08-12

    申请号:CN202110041338.1

    申请日:2021-01-13

    Abstract: 本发明公开了一种提高光栅周期测量精度的装置和方法,所述装置包括:激光器、第一隔离器、第二隔离器、多个反射镜、转台和探测器,激光器用于发出预设波长的激光;第一隔离器上设置有第一通孔,激光穿射第一通孔,第一隔离器用于防止激光反射至激光器;第二隔离器上设置有第二通孔,激光经第一通孔后穿射第二通孔;多个反射镜用于反射改变激光的方向;转台上设置有光栅,激光经过反射镜反射至光栅,并经由光栅衍射后原路返回;探测器用于在第二通孔处对衍射后的光斑进行取样。根据本发明的提高光栅周期测量精度的装置,简单易实现,可以有效地降低测量不确定度,提高测量精度。

    提高光栅周期测量精度的装置和方法

    公开(公告)号:CN112880973A

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN202110041338.1

    申请日:2021-01-13

    Abstract: 本发明公开了一种提高光栅周期测量精度的装置和方法,所述装置包括:激光器、第一隔离器、第二隔离器、多个反射镜、转台和探测器,激光器用于发出预设波长的激光;第一隔离器上设置有第一通孔,激光穿射第一通孔,第一隔离器用于防止激光反射至激光器;第二隔离器上设置有第二通孔,激光经第一通孔后穿射第二通孔;多个反射镜用于反射改变激光的方向;转台上设置有光栅,激光经过反射镜反射至光栅,并经由光栅衍射后原路返回;探测器用于在第二通孔处对衍射后的光斑进行取样。根据本发明的提高光栅周期测量精度的装置,简单易实现,可以有效地降低测量不确定度,提高测量精度。

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