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公开(公告)号：CN100570755C
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200610050514.3
申请日：2006-04-26
Applicant: 中国计量学院 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有较低谐振频率温度系数的微悬臂梁谐振器。该谐振器采用二氧化硅/硅或二氧化硅/氮化硅双层结构实现悬臂梁谐振频率的温度自补偿。通过理论计算和实验验证表明硅/二氧化硅双层悬臂梁谐振器的硅和二氧化硅薄膜最优厚度之比是1.1～1.7，二氧化硅/氮化硅双层悬臂梁谐振器的二氧化硅薄膜和氮化硅薄膜的最优厚度之比是0.9～1.2，其中的二氧化硅由热氧化法生长，氮化硅由低压气相淀积法(LPCVD)制作。本发明所公开的的低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器具有温度补偿方法简便易行，结构简单，成本低廉、不需要引入额外的温度传感器、参比悬臂梁和补偿电路等优点。
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公开(公告)号：CN101064197A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200610050514.3
申请日：2006-04-26
Applicant: 中国计量学院 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有较低谐振频率温度系数的微悬臂梁谐振器。该谐振器采用二氧化硅/硅或二氧化硅/氮化硅双层结构实现悬臂梁谐振频率的温度自补偿。通过理论计算和实验验证表明硅/二氧化硅双层悬臂梁谐振器的硅和二氧化硅薄膜最优厚度之比是1.1～1.7，二氧化硅/氮化硅双层悬臂梁谐振器的二氧化硅薄膜和氮化硅薄膜的最优厚度之比是0.9～1.2，其中的二氧化硅由热氧化法生长，氮化硅由低压气相淀积法(LPCVD)制作。本发明所公开的低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器具有温度补偿方法简便易行，结构简单，成本低廉、不需要引入额外的温度传感器、参比悬臂梁和补偿电路等优点。
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公开(公告)号：CN103708406B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201310714214.0
申请日：2013-12-12
Applicant: 中国计量学院
Abstract: 本发明公开了一种可隔离封装应力的谐振式红外探测器的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。其特征在于：谐振式红外探测器由微桥谐振器芯片和下底板组成。其中微桥谐振器芯片由微桥谐振器(1)、矩形框架(2)、两根支撑梁(3)、衬底(4)组成。支撑梁(3)一端固支在衬底(4)上，另一端与矩形框架(2)的一对对边相连。微桥谐振器(1)两端固支在矩形框架(2)的另一对对边之间。微桥谐振器(1)、矩形框架(2)和支撑梁(3)悬浮在下底板(5)的上方。下底板(5)的热膨胀不会改变矩形框架(2)支撑微桥谐振器(1)的一对对边之间的距离，因此不会改变微桥谐振器(1)的长度、轴向应变和谐振频率。
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公开(公告)号：CN104015834B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201410225176.7
申请日：2014-05-26
Applicant: 中国计量学院
IPC: B62D57/032
Abstract: 本发明属于机器人技术领域，尤其是涉及一种具有应激反射功能的崎岖面爬行机器人气动肌肉关节。本具有应激反射功能的崎岖面爬行机器人气动肌肉关节，包括上固定座和下固定座，上固定座和下固定座之间设有支撑结构且支撑结构与上固定座相铰接，上固定座和下固定座之间还设有气动肌肉组件，其特征在于，气动肌肉组件与可控制气动肌肉组件内气压大小的气压控制机构相连接，气压控制机构与气压反馈机构相连接且气压反馈机构可根据接收到的反馈信息通过控制气压控制机构来控制气动肌肉组件内的气压大小。本发明的优点在于：能够针对复杂步行环境或突发扰动进行应激式反射，适应性强，稳定性好，反应快。
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公开(公告)号：CN104569347B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510016712.7
申请日：2015-01-13
Applicant: 中国计量学院
IPC: G01N33/24
Abstract: 本发明公开了一种岩土体灾变的模拟及检测装置。包括承载有岩土的机械翻斗装置、人工降雨装置、信息采集及监测系统、控制系统和支撑框架，机械翻斗装置安装在地面上，支撑框架位于机械翻斗装置的上方，机械翻斗装置正上方的支撑框架上固定安装有人工降雨装置，机械翻斗装置内安装有信息采集及监测系统，控制系统分别与机械翻斗装置、人工降雨装置和信息采集及监测系统连接。本发明能模拟滑坡泥石流等常见岩土体灾害的灾变过程，为岩土体灾害的研究提供定量研究，并且固定的装置和可自主设定参数的降雨量和边坡可以提高研究的全面性和效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105223874A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510686502.9
申请日：2015-10-21
Applicant: 中国计量学院
IPC: G05B19/042 , G01V9/00
CPC classification number: G05B19/042 , G01V9/00 , G05B2219/26
Abstract: 本发明公开了一种槽罐内化学气体排尽收集控制检测系统。在槽罐顶部的安全阀口处安装有安全阀开启装置，安全阀开启装置经驱动控制信号线与现场安全阀开闭驱动控制装置电连接，现场安全阀开闭驱动控制装置连接有天线，安全阀开启装置的出气口连通大气和气体存储罐，槽罐内竖直安装有溢导管，溢导管连通气体存储罐，槽罐底部设有排水口和注水口，其中各路管路的阀和传感器和安全阀开启装置均连接到综合控制检测装置。本发明能够将槽罐车上的槽罐内的各种液化气等化学气体充分排尽，实现了非人工的自动化作业，避免了人工检测槽罐车的问题和麻烦，并具有存储管将气体存储，避免了化学气体的污染和浪费，提高了工作效率。
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公开(公告)号：CN102602879B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201210059372.2
申请日：2012-03-01
Applicant: 中国计量学院
IPC: B81C1/00 , G01P15/097
Abstract: 本发明公开了一种谐振式加速度计谐振梁和支撑梁的二步腐蚀制造方法，属于微电子机械系统领域。本发明的目的在于在同一硅片(3)上制作出不在同一平面的谐振梁(1)和支撑梁(2)，谐振梁(1)位于衬底上表面，支撑梁(2)的中性面与质量块(4)的重心在同一平面。在制作技术方面的特征在于：首先采用有掩膜腐蚀工艺从谐振梁(1)背面腐蚀到一定深度；然后正反两面光刻，腐蚀或刻蚀腐蚀槽(6)除谐振梁(1)和质量块(4)凸角补偿部分以外的腐蚀掩蔽层(7)；最后，采用掩膜和无掩膜腐蚀相结合实现谐振梁(1)和支撑梁(2)的一次成型，谐振梁(1)和支撑梁(2)的厚度同时达到设定值。本制造方法使制作的谐振式加速度计结构简单，具有较小的交叉轴干扰。
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公开(公告)号：CN105065902A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510482545.5
申请日：2015-08-07
Applicant: 中国计量学院 , 浙江省特种设备检验研究院
IPC: F17C13/02
Abstract: 本发明公开了一种槽罐安全阀非拆卸状态开启拉力检测系统。防爆套筒、主套筒和支撑套筒依次密封连接，电机套装在防爆套筒中，电机与联轴套同轴安装，联轴套装有丝杠螺母，丝杠螺母套在丝杠内端形成丝杠副；丝杠外端为带有螺纹的阶梯轴并伸入到支撑套筒内，丝杠与支撑套筒同轴安装，丝杠外端螺纹套在连接套，连接套螺纹套在安全阀顶部；主套筒侧部开有气体输出接口；还包括PC计算机和电源模块，拉力传感器和电机经开启检测模块与PC计算机连接。本发明能够对槽罐安全阀在不拆卸状态下防爆开启，且实现开启拉力的检测，有利于提高槽罐检测效率。
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公开(公告)号：CN103522301B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201310460748.5
申请日：2013-09-30
Applicant: 中国计量学院
IPC: B25J17/00
Abstract: 本发明属于仿生机构设计领域，涉及一种气动肌肉驱动的变转轴仿生关节。它解决了现有技术设计不够合理等技术问题。包括筒身，筒身上侧固设有上法兰，筒身一侧穿设有第一柔性连杆组件，另一侧穿设有第二柔性连杆组件，筒身下侧穿设有第三柔性连杆组件，筒身内上侧设有弹性件，筒身内设有具有内凹侧边弧形的曲线边缘转盘，曲线边缘转盘上固连有摆动杆，摆动杆下端位于筒身外且固连安装板，安装板上固连有下法兰。优点在于：设计合理，结构简单，机构调解灵活，通用性强，柔性连接组件使得仿生关节柔顺性好，抖动小，滑轮组件使得关节摆角范围大，负载能力强，摆动杆在相关结构的约束下，摆动过程更加仿生，工作性能更好。
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公开(公告)号：CN102581160B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201210024298.0
申请日：2012-02-03
Applicant: 中国计量学院
IPC: B21D43/18
Abstract: 本发明属于自动上下料装置技术领域，涉及一种由步进电机驱动的六个机械臂，机械臂上都安装可伸缩气缸、限位触点开关和吸盘，并与控制器和气源相连接组成的智能化旋转型吸附式电饭煲锅盖防溢盖板上下料装置。本发明的有益效果是：会自动将半成品放入冲压机中，并将成品自动放入成品区，减少人工时间，提高上下料效率；采用旋转型工作方式，节省空间，且无空行程；限位触点开关可以感知到工件的高度，使得半成品可以多个叠加垒放在一起；采用吸盘吸附和U型卡槽卡位方式，简单高效，只需要调节U型卡槽和吸盘的大小，就可适应不同规格的防溢盖板，通用性强。
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