公开(公告)号：CN104330039B

公开(公告)日：2017-09-19

申请号：CN201410510257.1

申请日：2014-09-28

Applicant: 中国计量学院

Inventor： 王道档 ,  陈茜茜 ,  徐杨波 ,  刘维 ,  赵军 ,  孔明

IPC: G01B11/03

Abstract: 本发明提供一种用于三坐标测量的大数值孔径光纤点衍射干涉装置及方法，涉及光学测量。激光器发出光经过偏振分光棱镜分成透射光和反射光，透射光在亚波长孔径光纤出射端产生点衍射球面波前W2，反射光经过移动的反射镜反射后在亚波长孔径光纤出射端产生点衍射球面波前W1，CCD探测器采集W1和W2干涉条纹，通过多步移相和L‑M算法的二重迭代算法实现被测目标的三维坐标的测量。本发明解决现有技术三坐标测量点衍射干涉仪难以同时实现大数值孔径和高能量的衍射球面波前问题。有益效果：两个亚波长孔径光纤的探针作为测量探头，获得高亮度和大数值孔径的点衍射球面波前降低感光灵敏度的要求，扩大三坐标测量的光纤点衍射干涉系统测量范围。

公开(公告)号：CN104330039A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201410510257.1

申请日：2014-09-28

Applicant: 中国计量学院

Inventor： 王道档 ,  陈茜茜 ,  徐杨波 ,  刘维 ,  赵军 ,  孔明

IPC: G01B11/03

Abstract: 本发明提供一种用于三坐标测量的大数值孔径光纤点衍射干涉装置及方法，涉及光学测量。激光器发出光经过偏振分光棱镜分成透射光和反射光，透射光在亚波长孔径光纤出射端产生点衍射球面波前W2，反射光经过移动的反射镜反射后在亚波长孔径光纤出射端产生点衍射球面波前W1，CCD探测器采集W1和W2干涉条纹，通过多步移相和L-M算法的二重迭代算法实现被测目标的三维坐标的测量。本发明解决现有技术三坐标测量点衍射干涉仪难以同时实现大数值孔径和高能量的衍射球面波前问题。有益效果：两个亚波长孔径光纤的探针作为测量探头，获得高亮度和大数值孔径的点衍射球面波前降低感光灵敏度的要求，扩大三坐标测量的光纤点衍射干涉系统测量范围。