公开(公告)号：CN105527027A

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201610008014.7

申请日：2016-01-05

Applicant: 中国计量学院

Inventor： 王道档 ,  王志超 ,  徐杨波 ,  刘维 ,  孔明 ,  郭天太 ,  赵军

IPC: G01J9/02

CPC classification number: G01J9/0215 ,  G01J2009/0223 ,  G01J2009/0242

Abstract: 本发明涉及一种亚微米孔径光纤点衍射波前测量的结构误差校正方法，通过无成像镜头的CCD探测器获取原始剪切波前数据，利用三维坐标重构对剪切波面数据进行预校正，再获取180度旋转测量探头后的预校正数据，将二者叠加，消除两点衍射源偏移引入的结构误差，得到真实剪切波面数据，再根据差分泽尼克多项式拟合方法拟合得到待测的亚微米孔径光纤点衍射波前，实现亚微米孔径光纤点衍射波前的高精度测量。