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公开(公告)号:CN114964565A
公开(公告)日:2022-08-30
申请号:CN202210577600.9
申请日:2022-05-25
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种面向差示扫描量热的立体型热流传感器及其制备工艺。本发明中的传感器本体采用铂‑铂铑热电偶材料在陶瓷基底上下表面印刷形成表面电极,通过在传感器侧壁喷墨印刷轴向电极来连接表面电极,形成立体式热电堆结构。本发明中的传感器基座上印制有差示线,用于将样品端热流传感器和参比端热流传感器的电势差信号进行差示连接,还印制有测量传感器基座温度的薄膜铂电阻。所述的热流传感器利用侧壁喷墨印刷薄膜电极,可增加热流传感器上下表面的热电堆印刷密度,提升传感器的热流测量灵敏度。热流传感器本体和基座之间通过陶瓷细圆柱体的支撑,使两者分离出一个微小的间隙,并在间隙内均匀填充钎料膏,通过钎焊实现两者之间的可靠连接。