公开(公告)号：CN110146154A

公开(公告)日：2019-08-20

申请号：CN201910367953.4

申请日：2019-05-05

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 王道档 ,  顾翰婷 ,  孔明 ,  许新科 ,  赵军 ,  刘维 ,  郭天太

IPC: G01H9/00

Abstract: 本发明公开了一种用于物体振动测量的点衍射干涉装置及方法，包括：光源，发射初始光至光路处理模块；光路处理模块，将初始光转换为若干束出射光并入射至测量模块；测量模块，连接被测物体，采集入射光产生的干涉图并处理。单纵模激光器发出的激光经光路处理模块后射入测量模块；入射光经偏振数字相机前置的偏振片阵列后发生干涉；记录四步移相干涉图及各瞬态位置的干涉图；根据干涉图对不同瞬态位置空间三维坐标值进行分析，测量出物体振动过程。本发明通过将被测物体与测量探头固定，并利用偏振数字相机来采集振动过程中各个瞬态位置的干涉图，通过对各个瞬态位置的空间三维坐标进行分析，实现了对物体振动的测量，提高了装置的抗干扰能力。

公开(公告)号：CN110146154B

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN201910367953.4

申请日：2019-05-05

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 王道档 ,  顾翰婷 ,  孔明 ,  许新科 ,  赵军 ,  刘维 ,  郭天太

IPC: G01H9/00

Abstract: 本发明公开了一种用于物体振动测量的点衍射干涉装置及方法，包括：光源，发射初始光至光路处理模块；光路处理模块，将初始光转换为若干束出射光并入射至测量模块；测量模块，连接被测物体，采集入射光产生的干涉图并处理。单纵模激光器发出的激光经光路处理模块后射入测量模块；入射光经偏振数字相机前置的偏振片阵列后发生干涉；记录四步移相干涉图及各瞬态位置的干涉图；根据干涉图对不同瞬态位置空间三维坐标值进行分析，测量出物体振动过程。本发明通过将被测物体与测量探头固定，并利用偏振数字相机来采集振动过程中各个瞬态位置的干涉图，通过对各个瞬态位置的空间三维坐标进行分析，实现了对物体振动的测量，提高了装置的抗干扰能力。