公开(公告)号：CN107462176A

公开(公告)日：2017-12-12

申请号：CN201710704892.7

申请日：2017-08-17

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 郑永军 ,  卫银杰 ,  柳滨 ,  顾海洋 ,  梁晓瑜

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/0625

Abstract: 本发明公开了一种基于Mallat算法的白光反射动态测量薄膜厚度方法。该方法将白光反射率谱信号进行三层小波分解，然后抽取各层近似系数和细节系数后用默认阈值进行去噪处理，最后通过求取白光反射率谱的特征值，即其在190nm-800nm上的反射率平均值进行快速判断从而求出薄膜厚度。本发明增强了对待测膜厚测量的准确度和速度。

公开(公告)号：CN107560556A

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：CN201710704879.1

申请日：2017-08-17

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 郑永军 ,  黄强 ,  柳滨 ,  顾海洋 ,  陆艺

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明公开了一种基于L-M优化算法的白光反射率测量薄膜厚度的方法。该方法将使用L-M优化算法的BP神经网络对动态测量中被噪声污染的信号进行学习拟合，得到拟合后的WLRS曲线，通过获取拟合后的WLRS曲线的特征值对待测薄膜的厚度进行快速准确地测量，通过实际测量证明该方法具有较强的抗干扰能力和一定的适应性。

公开(公告)号：CN107504910A

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201710705416.7

申请日：2017-08-17

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 郑永军 ,  卫银杰 ,  顾海洋 ,  柳滨 ,  孔明

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/06

Abstract: 本发明公开了一种基于阈值小波变换的白光反射动态测量薄膜厚度方法。该方法将白光反射率谱信号进行三层小波分解，然后抽取各层近似系数和细节系数后用默认阈值进行去噪处理，最后通过求取白光反射率谱的特征值，即反射率的最小值进行快速判断从而求出薄膜厚度。本发明增强了对待测膜厚测量的准确度和速度。

公开(公告)号：CN107504909A

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201710704895.0

申请日：2017-08-17

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 郑永军 ,  黄强 ,  顾海洋 ,  柳滨 ,  罗哉

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/0625

Abstract: 本发明公开了基于贝叶斯正则化算法的白光反射率测量薄膜厚度自适应方法。该方法将使用贝叶斯正则化算法的BP神经网络对动态测量中被噪声污染的信号进行学习拟合，得到拟合后的WLRS曲线，通过获取拟合后的WLRS曲线的特征值对待测薄膜的厚度进行快速准确地测量，通过实际测量证明该方法具有较强的抗干扰能力和一定的适应性。