公开(公告)号：CN116163001A

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN202211476806.9

申请日：2022-11-23

Applicant: 中国计量大学 ,  中国计量科学研究院

Inventor： 朱承峰 ,  王振宇 ,  王雪深 ,  陈建 ,  徐骁龙 ,  李劲劲

IPC: C25F7/00 ,  G01N17/02 ,  G01N17/00 ,  C25F5/00

Abstract: 本申请涉及一种晶圆级电化学腐蚀系统，包括：腐蚀槽，腐蚀槽内部左右两侧设有竖槽，用于安装和固定阴极和阳极，竖槽内设置有用于固定晶圆的阳极架；腐蚀液，盛放于腐蚀槽内；阴极，包括绝缘材质的平板，平板上贴附有金属板；阳极，包括阳极架，阳极架为工字形结构，中部圆弧形长槽长度与待固定晶圆直径相同，长槽上下两端通过螺丝用防腐蚀材质压片固定晶圆；氮气鼓气系统，通过在腐蚀槽侧面或者底面位置开孔，接入氮气；上位机控制系统，用于控制电化学腐蚀实验进度以及参数的记录；源表，接入于阴极、阳极之间的回路中，用于控制输出恒、变电压，同时测试回路中电压和电流。本发明为晶圆的金属牺牲层释放提供了便捷的实验条件。

公开(公告)号：CN106087230A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610531617.5

申请日：2016-06-29

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 吴善强 ,  彭冬冬 ,  陈莉 ,  陈建

IPC: D04B15/38 ,  D04B27/10

CPC classification number: D04B15/38 ,  D04B27/10

Abstract: 本发明设计了一种恒张力输纱器控制系统，主要包括张力检测模块，张力信号处理模块，输纱轮，输纱电机，卷绕电机，电机驱动，导纱杆，纱筒，单片机处理单元，铝合金支架机构。张力传感器模块是由一个线性霍尔传感器、小型磁铁以及导纱杆组成的检测机构。该控制系统主要用来实现对恒张力的精确控制。恒张力输纱器控制系统可用在纺织行业的多个工艺过程，如织布、纺纱、绕线等。同时该系统能保证时刻严格按照设定值控制纱线张力，从而提高产品的质量，有广阔的应用前景。

公开(公告)号：CN107867344A

公开(公告)日：2018-04-03

申请号：CN201710747824.9

申请日：2017-08-25

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 吴善强 ,  陈莉 ,  陈建 ,  郑耿峰

IPC: B62D57/024

CPC classification number: B62D57/024

Abstract: 一种可实现直角壁面过渡的永磁吸附爬壁机器人，主要应用于金属壁面等结构的检测行业。该爬壁机器人包括移动模块、连接结构、吸附模块，其中移动模块由聚氨酯胶轮、减速直流电机、两侧固定板、上覆板、电机底座、电机轴套、固定螺母共同组成。吸附模块由包括永磁体、导磁体、永磁体固定板。爬壁机器人有吸附模块提供吸附力完成对金属壁面的吸附，通过直流电机驱动由移动模块完成行走任务，连接结构是用于连接前后连个移动模块，弹性材料使爬壁机器人能够很好的完成越障和壁面过渡工作。本发明结构简单，实现了金属壁面的爬行和直角壁面的转换工作。

公开(公告)号：CN206223807U

公开(公告)日：2017-06-06

申请号：CN201621312320.1

申请日：2016-12-01

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 吴善强 ,  陈建 ,  彭冬冬 ,  陈莉 ,  黄建锋

IPC: G01P3/481

Abstract: 本实用新型涉及一种基于磁敏电阻传感器的电机转速检测装置，主要应用于电机控制领域。该装置包括电源模块、DSP主控电路、上位机、非磁性圆盘、磁敏电阻传感器、滤波放大电路、比较电路，所述非磁性圆盘转动时，影响安装在其外边缘的所述磁敏电阻传感器周围磁场，从而使所述磁敏电阻传感器的输出信号发生变化，所述滤波放大电路和所述比较电路对所述磁敏电阻传感器输出信号进行滤波、放大和比较，最终输出方波信号，所述DSP主控电路的eCAP模块对方波信号的边沿进行捕捉、计数，并计算电机的转速。该装置结构简单，容易安装，对环境适应性强，对电机速度的检测精度高。