公开(公告)号：CN106705858A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201611092901.3

申请日：2016-11-29

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 许素安 ,  金玮 ,  黄艳岩

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量系统。本发明由激光干涉单元和偏振态检测单元两部分组成。激光干涉单元在单频迈克尔逊干涉仪的基础上引入偏振态转换技术，以获得含有位移信息的合成线性偏振光。偏振检测单元为采用基于电光液晶相位调制的偏振测量系统。偏振态检测单元能测出激光干涉单元出射光Stokes矢量，由Stokes矢量获得偏振光的椭圆度角ε和方位角θ。方位角θ与移动镜的位移Δx存在线性关系，借助偏振态相位调制技术，实现方位角θ的测量，从而实现高分辨率的相位细分。通过监测椭圆度角ε，结合波片位置调节法，可减小干涉仪光学非线性误差。本发明能实现高分辨率、大范围的纳米测量，且系统具有光学非线性自校正的功能。

公开(公告)号：CN106053886B

公开(公告)日：2019-02-15

申请号：CN201610601352.1

申请日：2016-07-28

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 许素安 ,  金玮 ,  黄艳岩 ,  富雅琼 ,  谢航杰

IPC: G01Q60/24

Abstract: 本发明公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位系统。本发明中的被观测样品置于立方镜载物台的中心，AFM7自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈；立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪；XY平面扫描器的运动与AFM的同步采集采用同步脉冲触发器，同步扫描触发器的脉冲信号来自XY平面扫描器的编码器和高频相移电路；XY平面扫描器每次动作时，同步脉冲触发器通过计算机向AFM的数据采集卡发送中断脉冲，用于采集Z轴位置信号。本发明压电陶瓷采用锁相环回路步进驱动，从测量和驱动方法上克服了压电陶瓷自身非线性和蠕变等机械缺陷，从而解决了AFM扫描图像畸变的问题。

公开(公告)号：CN106053886A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610601352.1

申请日：2016-07-28

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 许素安 ,  金玮 ,  黄艳岩 ,  富雅琼 ,  谢航杰

IPC: G01Q60/24

CPC classification number: G01Q60/24

Abstract: 本发明公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位系统。本发明中的被观测样品置于立方镜载物台的中心，AFM7自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈；立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪；XY平面扫描器的运动与AFM的同步采集采用同步脉冲触发器，同步扫描触发器的脉冲信号来自XY平面扫描器的编码器和高频相移电路；XY平面扫描器每次动作时，同步脉冲触发器通过计算机向AFM的数据采集卡发送中断脉冲，用于采集Z轴位置信号。本发明压电陶瓷采用锁相环回路步进驱动，从测量和驱动方法上克服了压电陶瓷自身非线性和蠕变等机械缺陷，从而解决了AFM扫描图像畸变的问题。

公开(公告)号：CN205898842U

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201620814992.6

申请日：2016-07-28

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 谢航杰 ,  许素安 ,  金玮 ,  黄艳岩 ,  富雅琼

IPC: G01Q60/24

Abstract: 本实用新型公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位装置。本实用新型中AFM自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈；立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪；XY平面扫描器的运动与AFM的同步采集采用同步脉冲触发器，同步扫描触发器的脉冲信号来自XY平面扫描器的编码器和高频相移电路；XY平面扫描器每次动作时，同步脉冲触发器通过计算机向AFM的数据采集卡发送中断脉冲，用于采集Z轴位置信号。本实用新型构建的AFM扫描定位系统X、Y向的扫描与AFM Z向的反馈控制分离开来，避免了AFM扫描过程产生的XY平面与Z向的非线性交叉耦合误差。

公开(公告)号：CN206300612U

公开(公告)日：2017-07-04

申请号：CN201621311677.8

申请日：2016-11-29

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 金玮 ,  许素安 ,  黄艳岩 ,  李青 ,  王桂荣

IPC: G01B11/02

Abstract: 本实用新型公开了一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量装置。本实用新型由激光干涉单元和偏振态检测单元两部分组成。激光干涉单元在单频迈克尔逊干涉仪的基础上加入偏振元件，以实现激光偏振态的转换。偏振检测单元为采用基于电光液晶相位调制的偏振测量系统。偏振态检测单元能测出激光干涉单元出射光Stokes矢量，由Stokes矢量获得偏振光的椭圆度角ε和方位角θ。方位角θ与移动镜的位移Δx存在线性关系，由此可以获得高分辨率位移细分，并且没有测量范围上的限制。本装置采用光电相位调制测量激光偏振态，避免了常用旋转波片法的机械误差，且具有测量速度快，测量范围大、测量精度高，光路简单等优点。