公开(公告)号：CN106053886B

公开(公告)日：2019-02-15

申请号：CN201610601352.1

申请日：2016-07-28

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 许素安 ,  金玮 ,  黄艳岩 ,  富雅琼 ,  谢航杰

IPC: G01Q60/24

Abstract: 本发明公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位系统。本发明中的被观测样品置于立方镜载物台的中心，AFM7自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈；立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪；XY平面扫描器的运动与AFM的同步采集采用同步脉冲触发器，同步扫描触发器的脉冲信号来自XY平面扫描器的编码器和高频相移电路；XY平面扫描器每次动作时，同步脉冲触发器通过计算机向AFM的数据采集卡发送中断脉冲，用于采集Z轴位置信号。本发明压电陶瓷采用锁相环回路步进驱动，从测量和驱动方法上克服了压电陶瓷自身非线性和蠕变等机械缺陷，从而解决了AFM扫描图像畸变的问题。

公开(公告)号：CN106053886A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610601352.1

申请日：2016-07-28

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 许素安 ,  金玮 ,  黄艳岩 ,  富雅琼 ,  谢航杰

IPC: G01Q60/24

CPC classification number: G01Q60/24

Abstract: 本发明公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位系统。本发明中的被观测样品置于立方镜载物台的中心，AFM7自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈；立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪；XY平面扫描器的运动与AFM的同步采集采用同步脉冲触发器，同步扫描触发器的脉冲信号来自XY平面扫描器的编码器和高频相移电路；XY平面扫描器每次动作时，同步脉冲触发器通过计算机向AFM的数据采集卡发送中断脉冲，用于采集Z轴位置信号。本发明压电陶瓷采用锁相环回路步进驱动，从测量和驱动方法上克服了压电陶瓷自身非线性和蠕变等机械缺陷，从而解决了AFM扫描图像畸变的问题。

公开(公告)号：CN205898842U

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201620814992.6

申请日：2016-07-28

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 谢航杰 ,  许素安 ,  金玮 ,  黄艳岩 ,  富雅琼

IPC: G01Q60/24

Abstract: 本实用新型公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位装置。本实用新型中AFM自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈；立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪；XY平面扫描器的运动与AFM的同步采集采用同步脉冲触发器，同步扫描触发器的脉冲信号来自XY平面扫描器的编码器和高频相移电路；XY平面扫描器每次动作时，同步脉冲触发器通过计算机向AFM的数据采集卡发送中断脉冲，用于采集Z轴位置信号。本实用新型构建的AFM扫描定位系统X、Y向的扫描与AFM Z向的反馈控制分离开来，避免了AFM扫描过程产生的XY平面与Z向的非线性交叉耦合误差。