公开(公告)号：CN118099040A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410426713.8

申请日：2024-04-10

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 陈亮 ,  李雨 ,  范存东 ,  李静 ,  王燚迪

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  B08B11/02 ,  B08B1/12 ,  B08B1/20 ,  B08B3/08 ,  B08B3/10

Abstract: 本发明公布了一种晶圆清洗装置，包括晶圆件A，还包括清洗箱、毛刷座、第一传动辊、第二传动辊和电机，所述清洗箱的一侧贯穿连接有排污管，且排污管连通在清洗箱内壁底部，本发明的有益效果是，首先通过设置的第一传动辊和第二传动辊相互配合，从而能够对放入的晶圆件进行夹持定位，然后通过设置的电机能够驱动夹持的晶圆件在清洗箱内部旋转，最后将清洗箱注入清洗液，使设置的晶圆件前后的两个刷条对其进行刷洗，结构合理，能够使晶圆件旋转刷洗，能够提高清洁的效果。

公开(公告)号：CN222421896U

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN202420730643.0

申请日：2024-04-10

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 李雨 ,  陈亮 ,  范存东 ,  李静 ,  王燚迪

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  B08B11/02 ,  B08B1/12 ,  B08B1/20 ,  B08B3/08 ,  B08B3/10

Abstract: 本实用新型公布了一种晶圆清洗装置，包括晶圆件A，还包括清洗箱、毛刷座、第一传动辊、第二传动辊和电机，所述清洗箱的一侧贯穿连接有排污管，且排污管连通在清洗箱内壁底部，本实用新型的有益效果是，首先通过设置的第一传动辊和第二传动辊相互配合，从而能够对放入的晶圆件进行夹持定位，然后通过设置的电机能够驱动夹持的晶圆件在清洗箱内部旋转，最后将清洗箱注入清洗液，使设置的晶圆件前后的两个刷条对其进行刷洗，结构合理，能够使晶圆件旋转刷洗，能够提高清洁的效果。