公开(公告)号：CN111458560A

公开(公告)日：2020-07-28

申请号：CN202010330099.7

申请日：2020-04-17

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 韩建强 ,  沈烽 ,  朱永胜

IPC: G01R19/22

Abstract: 本发明公开了一种基于多元薄膜热电变换器的高精度电压表的系统构成及工作机理，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于高精度电压表由多元薄膜热电变换器(1)、滤波电路1(2)和2(3)、线性化电路1(4)和2(5)、差分放大电路(6)、PI校正电路(7)、直流电压表(8)组成。多元薄膜热电变换器(1)由材料和结构相同的加热电阻1(9)、2(10)和热电堆1(11)、2(12)组成。当有交流信号输入到加热电阻1(9)上时，形成温差电动势，通过闭环反馈电路改变加载在加热电阻2(10)上的反馈电压，直到差分放大电路(6)输出信号为0，此时直流电压表测量的反馈信号就是输入交流信号的有效值。这种高精度电压表采用热电变换的方法测量交流信号，适合测量各种波形交流电压信号，并具有很高的准确度和工作频率范围。

公开(公告)号：CN112881892A

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN202110073505.0

申请日：2021-01-16

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 沈烽 ,  徐好 ,  任杨波

IPC: G01R31/28 ,  G01R1/04 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明涉及微电子机械系统领域，尤其涉及一种适用于MEMS电容式加速度计芯片的自动化测试系统，包括传感器晶圆级测试及传感器成品测试。主要包括MEMS加速度传感器芯片测试夹具(1)、ARM控制板(2)、PC上位机控制系统(3)、电机系统(4)、高精度LCR测试仪(5)；测试夹具用来固定传感器晶圆也可以用来固定成品传感器，可以实现自主检测，判断夹具探针是否磨损，判断接触是否合格；一套可编程集成控制系统，包括了ARM控制板，和Labview上位机控制程序；电机系统用于控制装置的偏转角度，配合自动PID技术，可以实现千分之一度角度的偏转；高精度LCR测试仪可以检测传感器的静态动态参数，结合上位机程序实现自动化检测。