公开(公告)号：CN111721469A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202010570563.X

申请日：2020-06-17

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 韩建强 ,  任杨波 ,  徐好

IPC: G01L21/12 ,  B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种基于正、负电阻温度系数的高灵敏度微型皮拉尼计的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于微型皮拉尼计采用两个正电阻温度系数加热器(1)作为惠斯通全桥电路一对对边，两个负电阻温度系数加热器(2)作为另一对对边。微型皮拉尼计工作时，在惠斯通电桥的一对对边加载恒定直流电压，正电阻温度系数加热器(1)和负电阻温度系数加热器(2)温度升高，阻值分别增加和下降。腔体内真空度不同，阻值变化量不同，从惠斯通电桥另一对角输出的电压也相应发生改变，通过测量惠斯通电桥的输出电压可反映出封装腔体内的真空度。本发明所涉及的微型皮拉尼计有以下优点：测量灵敏度高，可检测的最小压力和漏率低。

公开(公告)号：CN110988398A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201911351973.9

申请日：2019-12-16

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 韩建强 ,  赵正前 ,  任杨波

IPC: G01P15/097 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明公开了一种基于非共面H型谐振器和蟹腿型支撑梁的双轴体微机械谐振式加速度计。加速度计由质量块(1)、蟹腿型支撑梁(2)、激振梁(3)、拾振梁(4)、传动梁(5)、引线梁(6)、框架(7)组成。质量块(1)的重心位于4根蟹腿型支撑梁(2)组成的平面内。由激振梁(3)、拾振梁(4)、传动梁(5)组成的4个H型谐振器位于加速度计芯片上表面。激振梁(3)和拾振梁(4)分别采用电磁激励和电磁检测模式，面内弹性刚度低，质量块(1)在面内加速度作用下翻转角度小，交叉轴耦合干扰小，并具有较高的面内检测灵敏度。正面腐蚀工艺释放激振梁(3)、拾振梁(4)、传动梁(5)和引线梁(6)简化了工艺流程，缩短了芯片腐蚀时间。

公开(公告)号：CN112881892A

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN202110073505.0

申请日：2021-01-16

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 沈烽 ,  徐好 ,  任杨波

IPC: G01R31/28 ,  G01R1/04 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明涉及微电子机械系统领域，尤其涉及一种适用于MEMS电容式加速度计芯片的自动化测试系统，包括传感器晶圆级测试及传感器成品测试。主要包括MEMS加速度传感器芯片测试夹具(1)、ARM控制板(2)、PC上位机控制系统(3)、电机系统(4)、高精度LCR测试仪(5)；测试夹具用来固定传感器晶圆也可以用来固定成品传感器，可以实现自主检测，判断夹具探针是否磨损，判断接触是否合格；一套可编程集成控制系统，包括了ARM控制板，和Labview上位机控制程序；电机系统用于控制装置的偏转角度，配合自动PID技术，可以实现千分之一度角度的偏转；高精度LCR测试仪可以检测传感器的静态动态参数，结合上位机程序实现自动化检测。