公开(公告)号：CN115060193A

公开(公告)日：2022-09-16

申请号：CN202210586282.2

申请日：2022-05-27

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 李锐鹏 ,  张清 ,  韩浩强 ,  李宇昂

IPC: G01B11/24

Abstract: 提供一种低扰动地测量工件表面的器件、组件、系统及方法。测量器件(8)包括主体部(10)、具有通向与待检测部位(36)相对的第一侧(14)的第一开口(22)的测量通道(2)、和从第一侧的吸取口以贯通主体部内部的方式经由出口(1)通往外侧的流体通道(19)，吸取口(13)具有围绕第一开口的封闭环形，或者包围第一开口至少一圈的曲线段形状。通过在出口连接负压源，可将进入测量区域(34)的冷却液(4)和空气一起吸出，在吸引过程中液体可继续流动，只是方向有改所变，但已没有传统方式下的激烈对抗，气流的速度方向不是逆向而是偏转，因此引起振动较小，降低对测量的影响，且结构简单，整体体积小，加工难度和复杂性低。

公开(公告)号：CN219141772U

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202221291933.7

申请日：2022-05-27

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 张清 ,  李锐鹏 ,  韩浩强 ,  李宇昂

IPC: G01B11/24

Abstract: 提供一种用于测量工件表面的测量器件、组件、系统及加工机器。测量器件包括主体部（10）、具有通向与待检测部位（36）相对的第一侧（14）的第一开口（22）的测量通道（2）、和从第一侧的吸取口以贯通主体部内部的方式经由出口（1）通往外侧的流体通道（19），吸取口（13）具有围绕第一开口的封闭环形，或者包围第一开口至少一圈的曲线段形状。通过在出口连接负压源，可将进入测量区域（34）的冷却液（4）和空气一起吸出，在吸引过程中液体可继续流动，只是方向有改所变，但已没有传统方式下的激烈对抗，气流的速度方向不是逆向而是偏转，因此引起振动较小，降低对测量的影响，且结构简单，整体体积小，加工难度和复杂性低。