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公开(公告)号:CN117342520A
公开(公告)日:2024-01-05
申请号:CN202311492604.8
申请日:2023-11-03
Applicant: 中国计量大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本文发明公开了一种各向异性湿法腐蚀邻近凸角的保护技术,其特征在于:采用 晶向对称分支补偿邻近凸角,并将两个相邻的分支连接起来,形成一个两端固支分支(4)。另外2个 晶向自由分支(3)的一端固支在转弯处,另一端自由。各向异性腐蚀液首先沿自由端底切 晶向自由分支(3),与此同时横向底切 晶向两端固支分支(4)。然后底切 晶向主干(2),并无掩膜腐蚀 晶向两端固支分支(4)下面的硅楔(5),最后留下保护完好的芯片凸角(1)。这种凸角保护图形占用面积小,避免 晶向补偿条及其分支的重叠或者交叉,从而获得理想的补偿效果。
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公开(公告)号:CN112255304A
公开(公告)日:2021-01-22
申请号:CN202011168320.X
申请日:2020-10-28
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01N27/83
Abstract: 本发明公开了一种实时无接触的电梯钢丝绳探伤系统,由运载电梯、顶层牵引装置、电梯钢丝绳、实时探伤装置、云端数据库、下位机组成。运载电梯在电梯钢丝绳的牵引作用下上下运动,实时探伤装置固定在顶层牵引装置下方,在不影响电梯正常使用的情况下,针对电梯钢丝绳进行无接触的探伤检测并将监测数据传到云端数据库,各个下位机通过连接云端数据库即可实现对电梯钢丝绳损伤程度的实时监控。该发明具有测量精度高、实时性高、方便快捷等优点。
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公开(公告)号:CN112229900A
公开(公告)日:2021-01-15
申请号:CN202011168171.7
申请日:2020-10-28
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性智能管道缺陷检测装置,由驱动机器人、系统控制器、电源、多信号采集器、数据处理器、位置追踪器、连接结构、红外距离传感器及设备外围结构组成。电源负责给各个结构供电,由驱动机器人牵引整个管道缺陷检测装置前进,多信号采集器采集信号,将数据数字化并存入数据处理器,数据处理器中的数据融合中心通过数据融合算法得到一个补偿的缺陷信号,进而通过卡尔曼滤波、自适应加权平均或主成分分析实现融合,得到更精确的缺陷的深度、宽度、长度等信息。位置追踪器用于实时跟踪记录缺陷位置。该发明具有测量精度高、体型小、可以实现智能化检测、对复杂管道适应力强等优点。
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公开(公告)号:CN117208843A
公开(公告)日:2023-12-12
申请号:CN202311193745.X
申请日:2023-09-07
Applicant: 中国计量大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种腐蚀MEMS芯片分片槽时的凸角保护技术,其特征在于:在芯片凸角(3)处设置正方形掩膜(4),采用2根平行的 晶向两端固支梁(5)将正方形掩膜(4)靠近纵向分片槽(1)和横向分片槽(2)中轴线交点的4个凸角连接起来,进行凸角补偿;其余8个凸角采用 晶向两端固支梁(5)、 晶向补偿条(6)进行凸角补偿。各向异性腐蚀液首先底切 晶向两端固支梁(5)和 晶向补偿条(6)。然后底切正方形掩膜(4),与此同时无掩膜腐蚀 晶向两端固支梁(5)下面的硅楔(7)。最后留下保护完好的芯片凸角(3)。这种凸角保护图形占用面积小,减小了分片槽宽度。
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公开(公告)号:CN114047249A
公开(公告)日:2022-02-15
申请号:CN202111331201.6
申请日:2021-11-11
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01N27/83 , G01R33/032
Abstract: 本发明公开了一种基于光纤电流传感的漏磁扫描装置,由握柄外壳、探头外壳、连接器、电源激励装置、信号接收处理模块、数据显示模块、光源发生装置、光纤耦合器、单模光纤、线圈固定外壳、保护罩、光纤接头、线圈、保护气体、信号传输线、发光二极管、数据显示屏、提拉绳、底盖、蓄电池插座、拨动开关、光谱仪组成,光源发生装置调制产生激励光源经光纤耦合器和单模光纤传输至光纤接头,缺陷产生漏磁信号引起单模光纤内传输光信号偏正面角度发生变化,经信号接收处理模块转为电信号,同时光谱仪显示监测光谱特征。本发明提供了一种基于光纤电流传感的漏磁扫描装置,具有检测速度快、灵敏度高、易携带等优点,对于金属缺陷探伤具有良好应用前景。
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公开(公告)号:CN113219047A
公开(公告)日:2021-08-06
申请号:CN202110641570.9
申请日:2021-06-09
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种基于铁镍合金磁敏传感光纤金属探伤装置,由光源发生装置、第一单模光纤、第二单模光纤、光纤耦合器、铁镍合金磁敏传感光纤、光信号接收放大装置、光电信号转换装置、衔铁、铁靴、检测移动装置、屏蔽板、示波器组成,光源发生装置调制产生激励光源经第一单模光纤和光纤耦合器传输至铁镍合金磁敏传感光纤,铁镍合金磁致伸缩材料层由于金属缺陷产生的漏磁信号发生形变,偏振光经第二单模光纤传输至光信号接收放大装置和光电信号转换装置,示波器显示检测信号,实现铁镍合金磁敏传感光纤金属探伤。本发明提供了一种基于铁镍合金磁敏传感光纤金属探伤装置,具有检测装置抗电磁干扰等优点,对于金属缺陷探伤具有良好应用前景。
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公开(公告)号:CN214953220U
公开(公告)日:2021-11-30
申请号:CN202121283780.7
申请日:2021-06-09
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于铁镍合金磁敏传感光纤金属探伤装置,由光源发生装置、第一单模光纤、第二单模光纤、光纤耦合器、铁镍合金磁敏传感光纤、光信号接收放大装置、光电信号转换装置、衔铁、铁靴、检测移动装置、屏蔽板、示波器组成,光源发生装置调制产生激励光源经第一单模光纤和光纤耦合器传输至铁镍合金磁敏传感光纤,铁镍合金磁致伸缩材料层由于金属缺陷产生的漏磁信号发生形变,偏振光经第二单模光纤传输至光信号接收放大装置和光电信号转换装置,示波器显示检测信号,实现铁镍合金磁敏传感光纤金属探伤。本实用新型提供了一种基于铁镍合金磁敏传感光纤金属探伤装置,具有检测装置抗电磁干扰等优点,对于金属缺陷探伤有良好应用前景。
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