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发明公开
一种基于金属与电介质混合薄膜源极的柔性垂直沟道场效应管审中-实审

公开(公告)号：CN115440888A

公开(公告)日：2022-12-06

申请号：CN202211208887.4

申请日：2022-09-30

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 刘东琦 , 彭应全 , 张月 , 胡洋 , 张宁波 , 吕文理

IPC: H01L51/10 , H01L51/30 , H01L51/05

Abstract: 本发明公开一种基于金属与电介质混合薄膜源极的柔性垂直沟道场效应管，其从下到上依次结柔性衬底、栅极、栅介质、金属与电介质混合薄膜源极、半导体活性层和漏极；所述金属与电介质混合薄膜采用真空共蒸发、真空共溅射、溶液旋涂、溶胶凝胶方面制备；所述金属与电介质混合薄膜的导电性能和介电性能通过改变混合薄膜中金属与电介质的重量比来调节。本发明具有制备工艺简单、易于通过改变混合薄膜中金属与电介质重量混合比提高器件性能等优点，比较适合大规模生产。

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