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公开(公告)号：CN110763159A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201911061488.8
申请日：2019-11-01
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了光学偏折显微表面测量方法，所述方法包括：采用三坐标测量设备对所述光学偏折显微表面测量装置的结构位置参数S进行测量标定；根据测量标定的结构位置参数S，计算所述变形条纹光信号的相位分布，所述变形条纹光信号包括待测元件微观面形轮廓特征信息；根据所述相位分布，获取所述待测元件微观表面对应的实际光斑分布；将所述实际光斑分布与一预设的理想光斑分布进行比较，得到所述待测元件的微观面形轮廓。相应的，本发明还公开了光学偏折显微表面测量装置。通过本发明实现了高精度、低成本、空间分辨率高、测量速度快的显微测量技术方案。
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公开(公告)号：CN110763159B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201911061488.8
申请日：2019-11-01
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了光学偏折显微表面测量方法，所述方法包括：采用三坐标测量设备对所述光学偏折显微表面测量装置的结构位置参数S进行测量标定；根据测量标定的结构位置参数S，计算所述变形条纹光信号的相位分布，所述变形条纹光信号包括待测元件微观面形轮廓特征信息；根据所述相位分布，获取所述待测元件微观表面对应的实际光斑分布；将所述实际光斑分布与一预设的理想光斑分布进行比较，得到所述待测元件的微观面形轮廓。相应的，本发明还公开了光学偏折显微表面测量装置。通过本发明实现了高精度、低成本、空间分辨率高、测量速度快的显微测量技术方案。
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公开(公告)号：CN110793465B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201911081357.6
申请日：2019-11-07
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明提供一种微透射元件多表面面形同步检测方法，涉及测量技术领域。利用逆向哈特曼光路检测装置，使用计算机建立的模型化检测系统，测得待测微透射元件波像差，基于光线追迹法对微透射元件模型各表面面形误差进行迭代优化求解，获得相应的重构待测微透射元件波像差，通过优化重构待测微透射元件波像差使之与实测待测微透射元件波像差的偏差最小，最终重构出待测透射元件的实际各表面面形。本发明解决了现有技术中对微小透射元件多表面的测量实现难度较大、空间分辨率较低、检测精度较低、动态范围较小以及无法同步测量多表面的技术问题。本发明有益效果为：为微透射元件多表面面形同步检测提供了一种高精度大动态范围的检测方法。
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公开(公告)号：CN110793465A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911081357.6
申请日：2019-11-07
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明提供一种微透射元件多表面面形同步检测方法，涉及测量技术领域。利用逆向哈特曼光路检测装置，使用计算机建立的模型化检测系统，测得待测微透射元件波像差，基于光线追迹法对微透射元件模型各表面面形误差进行迭代优化求解，获得相应的重构待测微透射元件波像差，通过优化重构待测微透射元件波像差使之与实测待测微透射元件波像差的偏差最小，最终重构出待测透射元件的实际各表面面形。本发明解决了现有技术中对微小透射元件多表面的测量实现难度较大、空间分辨率较低、检测精度较低、动态范围较小以及无法同步测量多表面的技术问题。本发明有益效果为：为微透射元件多表面面形同步检测提供了一种高精度大动态范围的检测方法。
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