一种基于猫眼反射原理的干涉微位移测量系统

    公开(公告)号:CN103105134A

    公开(公告)日:2013-05-15

    申请号:CN201310005758.X

    申请日:2013-01-08

    Abstract: 本发明涉及一种基于猫眼反射原理的干涉微位移测量系统,属于几何量计量技术领域。其特征是将猫眼反射原理用于干涉法微位移测量,提出猫眼反射镜引入的位移测量误差修正数学模型,并采用平衡式双光程光学系统结构以提高系统的抗干扰能力。本发明的误差修正方法可以将猫眼反射镜引入的测量误差减小到纳米量级。本系统硬件由稳频激光光源、偏振分光镜、透镜-反射镜式猫眼反射镜、角锥棱镜、波片、偏振片、必要的反射镜和直角棱镜、以及光电接收器等组成。本系统具有测量分辨力高、抗干扰能力强、可实现非接触测量等特点,可用于解决无法使用角锥棱镜的情况下的微位移干涉测量问题,在微位移、微振动、热膨胀系数等测量方面有重要的推广应用价值。

    一种基于猫眼反射原理的干涉微位移测量系统

    公开(公告)号:CN103105134B

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201310005758.X

    申请日:2013-01-08

    Abstract: 本发明涉及一种基于猫眼反射原理的干涉微位移测量系统,属于几何量计量技术领域。其特征是将猫眼反射原理用于干涉法微位移测量,提出猫眼反射镜引入的位移测量误差修正数学模型,并采用平衡式双光程光学系统结构以提高系统的抗干扰能力。本发明的误差修正方法可以将猫眼反射镜引入的测量误差减小到纳米量级。本系统硬件由稳频激光光源、偏振分光镜、透镜-反射镜式猫眼反射镜、角锥棱镜、波片、偏振片、必要的反射镜和直角棱镜、以及光电接收器等组成。本系统具有测量分辨力高、抗干扰能力强、可实现非接触测量等特点,可用于解决无法使用角锥棱镜的情况下的微位移干涉测量问题,在微位移、微振动、热膨胀系数等测量方面有重要的推广应用价值。

    一种适用于低等级量块高效测量的装置

    公开(公告)号:CN115854813A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211487324.3

    申请日:2022-11-23

    Abstract: 本发明公开一种适用于低等级量块高效测量的装置,属于几何量计量检测领域。本发明包括测量背架组件,精密位移测量组件,量块自动定位组件,底座组件、控制与环境采集组件;通过测量背架组件闭环的运动控制实现精密位移测量组件根据被测量块规格自动的移动到待测位置;通过量块自动定位组件实现标准量块和被测量块的自动定位;通过精密位移测量组件实现量块的自动接触测量;通过控制与环境采集组件实现量块数据的采集显示、环境与材料温度采集;进而实现量块测量的过程的自动化和数据采集处理的自动化,解决手动拨叉与手动移动量块引起的测量一致性受人工因素影响大的难题,提升检定的效率。

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