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发明公开
一种镍基高温合金芯板微流道的精密蚀刻方法审中-实审

公开(公告)号：CN119913511A

公开(公告)日：2025-05-02

申请号：CN202510091538.6

申请日：2025-01-21

Applicant: 中国科学院金属研究所

Inventor： 汪川 , 贾志刚 , 郭泉忠 , 吴磊 , 王勇

IPC: C23F1/02 , C23F1/28

Abstract: 一种镍基高温合金芯板微流道的精密蚀刻方法，属于金属化学蚀刻领域。本发明通过优化掩模版图案，精确设计蚀刻液及防侧蚀液配方，严格把控蚀刻温度、蚀刻时间、喷淋压力等关键参数，设计防侧蚀液在沟槽侧壁形成保护膜层，结合蚀刻液与防侧蚀液交替喷淋的工艺抑制侧蚀现象，提升了蚀刻效率和稳定性，同时优化了表面质量，实现了对镍基高温合金芯板微流道的高精度蚀刻加工，抑制了湿法蚀刻各向同性所致的侧蚀现象。

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