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公开(公告)号：CN101504249B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200910010396.7
申请日：2009-02-18
Applicant: 中国科学院金属研究所嘉兴工程中心 , 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明涉及多功能真空-正压熔炼凝固设备，具体为一种在密闭的真空及高压气氛下采用熔炼、凝固工艺制备多种特种材料的设备。该设备由互成90°-100°放置的熔炼炉和定向凝固炉两部分组成，两个部分通过浇铸漏斗相连通，漏斗的敞口端低于熔炼炉内的坩埚并包围坩埚下沿，漏斗的另一端低于定向凝固炉内定向凝固模具上沿。熔体浇铸速度通过设备倾转的速度控制，熔体定向凝固速度可由水冷结晶器中水流速度以及水冷结晶器与浇铸模具间介质控制。本发明设备能够用于生产航空、电子、医药及生物化学、冶金机械、石油化工、能源环保、国防军工等领域的多孔、发泡材料和高氮奥氏体不锈钢以及金属/陶瓷复合材料。
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公开(公告)号：CN101504249A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200910010396.7
申请日：2009-02-18
Applicant: 中国科学院金属研究所嘉兴工程中心 , 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明涉及多功能真空－正压熔炼凝固设备，具体为一种在密闭的真空及高压气氛下采用熔炼、凝固工艺制备多种特种材料的设备。该设备由互成90°－100°放置的熔炼炉和定向凝固炉两部分组成，两个部分通过浇铸漏斗相连通，漏斗的敞口端低于熔炼炉内的坩埚并包围坩埚下沿，漏斗的另一端低于定向凝固炉内定向凝固模具上沿。熔体浇铸速度通过设备倾转的速度控制，熔体定向凝固速度可由水冷结晶器中水流速度以及水冷结晶器与浇铸模具间介质控制。本发明设备能够用于生产航空、电子、医药及生物化学、冶金机械、石油化工、能源环保、国防军工等领域的多孔、发泡材料和高氮奥氏体不锈钢以及金属/陶瓷复合材料。
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公开(公告)号：CN103215589B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201310145567.3
申请日：2013-04-24
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明涉及表面涂层防护领域，具体为一种轻质合金表面防护涂层的制备方法。首先，采用纯Al或超纯Al粉末，利用冷喷涂方法在轻质合金表面制备纯铝涂层，作为防护涂层的底层；然后，对纯铝涂层进行表面抛光和阳极氧化，在纯铝涂层表面制备氧化铝薄膜，作为防护涂层的表层。经过阳极氧化处理，纯铝涂层表面能生成性能优异的氧化铝薄膜，其抗腐蚀性能远好于铝合金阳极化后形成的氧化铝薄膜，尤其适合于大规模集成电路设备，使其在强腐蚀和等离子轰击环境下保持超洁净。其中，所述的轻质合金为镁合金、钛合金或铝合金。本发明方法应用于镁合金、钛合金和铝合金可以提高镁合金、钛合金和铝合金的耐腐蚀性能和耐磨性能。
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公开(公告)号：CN106995919A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201610045162.6
申请日：2016-01-22
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: C23C24/04
CPC classification number: C23C24/04
Abstract: 本发明涉及陶瓷涂层的制备技术领域，具体为一种冷喷涂制备光催化二氧化钛陶瓷涂层的方法。将TiO2纳米粉末、硫酸铵粉末与去离子水按照质量比20～50:1～3:50～100混料进行水热处理，清洗去除硫酸根粒离子后干燥得到由纳米粉团聚的微米级TiO2陶瓷粉末；使用冷喷涂将该粉末喷涂到基体表面得到TiO2陶瓷涂层；冷喷涂的条件为：使用压缩空气为工作气体，工作气体温度为200～600℃，气体压力为1.5～2.5MPa，喷涂距离为10～30mm。本发明借助水热处理技术得到由纳米粉团聚成的微米级TiO2粉体，仅仅使用低成本的压缩空气为载气就能制备厚度为10～400μm的TiO2陶瓷涂层。本发明方法沉积效率高，可根据实际使用情况随意调节TiO2陶瓷涂层的厚度，可以用来制备厚的TiO2陶瓷涂层。
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公开(公告)号：CN103215535B
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201310134038.3
申请日：2013-04-16
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: C23C4/10 , H01L21/3065
Abstract: 本发明涉及半导体集成电路芯片（晶片）等离子体刻蚀领域，具体为一种等离子刻蚀腔体表面防护涂层的制备方法。采用纯Al粉末和Y2O3-A12O3粉末的混合粉末制备等离子刻蚀腔体表面防护涂层，利用高速气流将Al粉末和Y2O3-A12O3粉末的混合粉末直接喷涂于离子刻蚀腔体表面，通过控制喷涂参数：喷射距离5～50mm、气体压强0.5～5.0MPa、气体温度为260～520℃、气流流量为10～30g/s、粉末粒度为1～50μm，使混合粉末沉积在等离子刻蚀腔体的内表面上，形成均匀分布的防护涂层，该涂层可以在等离子刻蚀腔体中原位钝化。该涂层能减少或阻止腐蚀性气体对腔体的腐蚀和金属离子对半导体晶片的污染，提高等离子体刻蚀晶片生产中反应室腔体材料的使用寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103215589A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310145567.3
申请日：2013-04-24
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明涉及表面涂层防护领域，具体为一种轻质合金表面防护涂层的制备方法。首先，采用纯Al或超纯Al粉末，利用冷喷涂方法在轻质合金表面制备纯铝涂层，作为防护涂层的底层；然后，对纯铝涂层进行表面抛光和阳极氧化，在纯铝涂层表面制备氧化铝薄膜，作为防护涂层的表层。经过阳极氧化处理，纯铝涂层表面能生成性能优异的氧化铝薄膜，其抗腐蚀性能远好于铝合金阳极化后形成的氧化铝薄膜，尤其适合于大规模集成电路设备，使其在强腐蚀和等离子轰击环境下保持超洁净。其中，所述的轻质合金为镁合金、钛合金或铝合金。本发明方法应用于镁合金、钛合金和铝合金可以提高镁合金、钛合金和铝合金的耐腐蚀性能和耐磨性能。
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公开(公告)号：CN103215535A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310134038.3
申请日：2013-04-16
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: C23C4/10 , H01L21/3065
Abstract: 本发明涉及半导体集成电路芯片（晶片）等离子体刻蚀领域，具体为一种等离子刻蚀腔体表面防护涂层的制备方法。采用纯Al粉末和Y2O3-A12O3粉末的混合粉末制备等离子刻蚀腔体表面防护涂层，利用高速气流将Al粉末和Y2O3-A12O3粉末的混合粉末直接喷涂于离子刻蚀腔体表面，通过控制喷涂参数：喷射距离5～50mm、气体压强0.5～5.0MPa、气体温度为260～520℃、气流流量为10～30g/s、粉末粒度为1～50μm，使混合粉末沉积在等离子刻蚀腔体的内表面上，形成均匀分布的防护涂层，该涂层可以在等离子刻蚀腔体中原位钝化。该涂层能减少或阻止腐蚀性气体对腔体的腐蚀和金属离子对半导体晶片的污染，提高等离子体刻蚀晶片生产中反应室腔体材料的使用寿命。
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公开(公告)号：CN1161188C
公开(公告)日：2004-08-11
申请号：CN01128130.8
申请日：2001-09-05
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 一种冷气动力喷涂装置。它由超音速喷嘴、加热器、送粉器等组成，超音速喷嘴安装在喷涂室入口处，控制器与带有储气罐的空气压缩机连接，并通过送粉开关、压力调节开关分别与加热器、送粉器相连，加热器一端至超音速喷嘴，喷涂室出口加设粉末回收装置；超音速喷嘴通过管道与送粉器连接，由收缩段、喉部、扩张段三部分组成，收缩段为维托辛基曲线形光滑连续收缩结构，与喉部过渡连接，扩散段为超音速段轴对称位流式结构，与喉部过渡连接，它包括初始膨胀段和消波段，初始膨胀段为光滑连续过渡结构，消波段为平行于轴线的轴对称结构，收缩段与混合室相连，其上的过渡管件分别与送粉器、加热器相连接。它送粉效率高、寿命长、无氧化问题。
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公开(公告)号：CN1403210A
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：CN01128130.8
申请日：2001-09-05
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 一种冷气动力喷涂装置。它由超音速喷嘴、加热器、送粉器等组成，超音速喷嘴安装在喷涂室入口处，控制器与带有储气罐的空气压缩机连接，并通过送粉开关、压力调节开关分别与加热器、送粉器相连，加热器一端至超音速喷嘴，喷涂室出口加设粉末回收装置；超音速喷嘴通过管道与送粉器连接，由收缩段、喉部、扩张段三部分组成，收缩段为维托辛基曲线形光滑连续收缩结构，与喉部过渡连接，扩散段为超音速段轴对称位流式结构，与喉部过渡连接，它包括初始膨胀段和消波段，初始膨胀段为光滑连续过渡结构，消波段为平行于轴线的轴对称结构，收缩段与混合室相连，其上的过渡管件分别与送粉器、加热器相连接。它送粉效率高、寿命长、无氧化问题。
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公开(公告)号：CN102527544A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210043107.5
申请日：2012-02-24
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明涉及表面涂层的制备领域，具体为一种制备金属复合梯度准晶涂层的冷喷涂装置及方法。该装置的准晶粉末送粉器和金属或合金粉末送粉器分别通过管路连至气固混合室，形成双通道送粉结构，在所述管路上分别设有准晶粉末加热器和金属或合金粉末加热器，气体加热器通过管路连接气固混合室，在气固混合室的出口处设置超音速喷嘴。气源压缩气体的一分路进入准晶粉末送粉器，一分路进入金属粉末送粉器，一分路进入加热器，气体和粉末通过气固混合室进入超音速喷嘴形成气-固双相流，气-固双相流中的固体颗粒喷射到工件表面，发生严重的塑性变形沉积于工件表面。本发明可以解决涂层脆性和相变等问题，可以制备多种系列的二元或多元合金准晶梯度涂层。
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