一种新型三氯氢硅精馏工艺
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116639698A

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202310570944.1

    申请日:2023-05-19

    Abstract: 本发明提供了一种新型三氯氢硅精馏工艺,包括依次串联的一级隔板精馏塔、二级反应精馏塔和三级隔板精馏塔。本发明工艺创新性的将反应精馏过程强化技术以及隔板精馏塔和差压热耦合精馏这两种集成节能技术应用于三氯氢硅提纯过程中,强化了各级精馏塔分离的强度。相较于传统三氯氢硅精馏工艺,本发明工艺能耗低、投资小,且能有效的去除三氯氢硅中硼、磷、碳等杂质,使三氯氢硅产品品质满足电子级二级及以上多晶硅的制备要求。

    一种氯硅烷体系微量硼、磷杂质的吸附方法

    公开(公告)号:CN113603096A

    公开(公告)日:2021-11-05

    申请号:CN202110581523.X

    申请日:2021-05-26

    Abstract: 一种氯硅烷体系微量硼、磷杂质的吸附方法,包括以下步骤:一种由固体吸附材料负载离子液体的复合材料,是将固体吸附材料作为支撑载体,将其与离子液体或者有机溶剂按比例混合均匀,进行研磨;所得混合物进行真空加热干燥,得到以多孔材料为支撑载体的复合材料;所得复合吸附材料填充于吸附柱中,在高纯氮气下,将一定温度、压力的氯硅烷通入吸附柱;吸附柱出口收集处理后的氯硅烷,得到提纯后的氯硅烷;复合吸附材料在一定温度、压力下进行气体吹扫,进行脱附回收。本发明的硼、磷微量杂质吸附剂实现了氯硅烷体系中存在的微量硼、磷杂质的高效吸附;不经过高温处理,能耗低,工艺简单;吸附剂循环利用,生产过程中废物排放少,避免了环境污染。

    一种电子级乙硅烷制备方法与装置

    公开(公告)号:CN119503814A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202411624256.X

    申请日:2024-11-14

    Abstract: 本发明提供了一种电子级乙硅烷制备方法及装置,装置主要由多级低温精密精馏系统和靶向吸附系统组成。其中,多级低温精馏系统主要由可实现相对温度而言较为温和的工艺条件多级低温精馏设备和可实现精密控制的设备仪表及非线性控制理论模块组成,靶向吸附系统由适用于吸附乙硅烷中不同杂质组分的吸附材料组成。乙硅烷粗品首先加入多级低温精密精馏系统内进行精密精馏分离,将乙硅烷粗品中除存在近沸或共沸等复杂物性的杂质组分和金属离子等痕量杂质组分之外的杂质组分脱除,大幅降低乙硅烷粗品中杂质组分种类和含量,通过多级低温精密精馏脱除大部分杂质组分的乙硅烷粗品再次加入到靶向吸附系统内,利用不同专用吸附材料对不同的杂+质组分进行靶向分离脱除,将杂质组分彻底脱除,制备高纯电子级乙硅烷。本发明通过多级低温精密精馏可将乙硅烷粗品中大部分杂质组分彻底脱除,降低了乙硅烷粗品中杂质组分的种类和含量,且可降低能源消耗,利用不同专用吸附材料对杂质组分进行彻底脱除,可获得高纯度的电子级乙硅烷。

    一种有机硅高沸物裂解用有机胺催化剂及制备方法

    公开(公告)号:CN116020554B

    公开(公告)日:2024-11-19

    申请号:CN202211720473.X

    申请日:2022-12-30

    Abstract: 本发明提供一种有机硅高沸物裂解用有机胺催化剂及制备方法,该催化剂为固载有机胺非均相催化剂,其制备方法是,将有机胺化合物与固化剂互溶并负载于多孔固载物内,接着加入催化剂使有机胺化合物和固化剂反应生成大分子物质,然后通过水解或醇解而铰链于固载物上而形成多孔固形物,最后对固形物成型而形成固载有机胺非均相催化剂。所制备催化剂为多孔高比表面固态介质,可大幅增加催化剂与有机硅高沸物的接触面积,增强了催化效果;催化剂中有机胺与固化剂反应而生成的大分子物质极难成均相态,且为固态物,可有效防止催化剂被携带走而造成流失,减少了催化剂的损耗,提高了催化剂使用效率,降低了催化剂成本。

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