公开(公告)号：CN118183753A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410250661.3

申请日：2024-03-05

Applicant: 中国科学院过程工程研究所

Inventor： 陈锦溢 ,  华超 ,  张豪豪 ,  刘周恩 ,  白芳 ,  陆平 ,  郭莉 ,  房川琦

IPC: C01B33/04

Abstract: 本发明提供了一种由混合氯硅烷制备纯硅烷的工艺，混合氯硅烷原料通过隔板精馏、吸附、反应精馏和中间冷凝的处理，制备出电子级高纯硅烷产品。通过本发明改进了硅烷生产工艺，提高了歧化反应转化率和硅烷产品品质，降低过程中的能耗和操作费用，该工艺流程能有效满足电子级高纯硅烷千吨及以上产能的连续生产。

公开(公告)号：CN118949457A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411225413.X

申请日：2024-09-03

Applicant: 中国科学院过程工程研究所 ,  沧州华宇特种气体科技有限公司

Inventor： 陈锦溢 ,  龚越亮 ,  郭莉 ,  张豪豪 ,  陆平 ,  房川琦 ,  华超

IPC: B01D3/14 ,  C01B33/04 ,  B01D3/32

Abstract: 本发明公开了一种隔板反应精馏制备硅烷的方法，属于硅烷制备技术领域，三氯氢硅或二氯二氢硅或二者混合物从隔板反应精馏塔的隔板反应下段顶部进料，隔板两侧上升的气相汇于隔板上方的公共精馏段，隔板两侧下降的液相汇于隔板底部的公共提馏段，隔板上方的液相分配至隔板两侧；从塔顶得到纯度大于99.99wt％的硅烷，从塔釜得到纯度大于99.9wt％的四氯化硅；从隔板分离段的中下部采出二氯二氢硅和一氯三氢硅混合物，返回隔板反应上段顶部的循环物料进料口提升原料转化率和分离效率。

公开(公告)号：CN119258568A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202411335976.4

申请日：2024-09-24

Applicant: 中国科学院过程工程研究所

Inventor： 陈锦溢 ,  郭莉 ,  华超 ,  房川琦 ,  白芳 ,  陆平 ,  张豪豪

IPC: B01D3/14 ,  C01B33/107

Abstract: 本发明公开了一种用于还原回收氯硅烷分离提纯的隔板耦合工艺，包括两台隔板精馏塔、换热器及附属设备。本发明通过两台串联并耦合的隔板精馏塔不仅实现还原回收氯硅烷组分的高效分离，还对产品进行提纯，满足大型还原炉及电子级多晶硅的生产要求，与现有工艺相比，显著提高分离效率，降低杂质纯度，并且大幅度降低分离系统的能耗，具备优异的工业应用优势。

公开(公告)号：CN116639698A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202310570944.1

申请日：2023-05-19

Applicant: 中国科学院过程工程研究所 ,  华陆工程科技有限责任公司

Inventor： 张豪豪 ,  郑开学 ,  陈锦溢 ,  姚又省 ,  丁哲 ,  刘继三 ,  华超

IPC: C01B33/107

Abstract: 本发明提供了一种新型三氯氢硅精馏工艺，包括依次串联的一级隔板精馏塔、二级反应精馏塔和三级隔板精馏塔。本发明工艺创新性的将反应精馏过程强化技术以及隔板精馏塔和差压热耦合精馏这两种集成节能技术应用于三氯氢硅提纯过程中，强化了各级精馏塔分离的强度。相较于传统三氯氢硅精馏工艺，本发明工艺能耗低、投资小，且能有效的去除三氯氢硅中硼、磷、碳等杂质，使三氯氢硅产品品质满足电子级二级及以上多晶硅的制备要求。

公开(公告)号：CN222540493U

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202420422290.8

申请日：2024-03-05

Applicant: 中国科学院过程工程研究所

Inventor： 陈锦溢 ,  华超 ,  张豪豪 ,  刘周恩 ,  白芳 ,  陆平 ,  郭莉 ,  房川琦

IPC: C01B33/04

Abstract: 本实用新型涉及一种由混合氯硅烷制备纯硅烷的装置，包含依次串联的四氯化硅分离塔、氯硅烷吸附柱、硅烷反应塔、硅烷脱重塔、硅烷吸附柱和硅烷精制塔，其中四氯化硅分离塔的上端出口与氯硅烷吸附柱的下端进口相连接；氯硅烷吸附柱的上端出口与硅烷反应塔的原料进口相连接；硅烷反应塔的上端出口与硅烷脱重塔的原料进口相连接；硅烷脱重塔的上端出口与硅烷吸附柱的气相进口相连接，硅烷脱重塔的下端出口返回至硅烷反应塔中部；硅烷吸附柱的气相出口与硅烷精制塔的原料进口相连接；硅烷精制塔的侧线出口得到电子级高纯硅烷产品。本实用新型适用于千吨级高纯硅烷及以上产能的连续生产，可降低过程中的能耗和操作费用。

公开(公告)号：CN214485705U

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN202022637782.3

申请日：2020-11-13

Applicant: 中国科学院过程工程研究所

Inventor： 华超 ,  张豪豪

IPC: B01D3/14 ,  B01D3/32

Abstract: 本实用新型涉及一种新型分隔壁精馏塔装置，包括分隔壁精馏塔，其内部设有一隔板，该隔板与液体分布器和气体分布器将塔内部分为四个区域：进料段，侧线采出段，公共精馏段，公共提馏段，包括压缩机、换热器、节流阀、辅助冷却器、分离罐，分隔壁精馏塔的进料段设有三组分混合物原料进口，侧线采出段设有中间组分出口，分隔壁精馏塔的塔顶蒸汽出口与压缩机连通，压缩机与换热器管程连通，换热器管程与节流阀连通，节流阀与辅助冷却器连通，辅助冷却器与分离罐连通，分离罐上其中一个出口与分隔壁精馏塔的顶部连通，另一个出口为轻组分出口，分隔壁精馏塔的底部设有重组分出口，本实用新型适用于三组分混合物分离的节能装置，节约能耗和设备投资。