公开(公告)号：CN118272919A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202211728812.9

申请日：2022-12-30

Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

Inventor： 蔡历武 ,  陈爱喜 ,  雷晓旭 ,  王鹏栋 ,  凌小伦 ,  陆晓鸣 ,  李坊森 ,  张珽

IPC: C30B23/02 ,  C30B23/06 ,  C23C14/56

Abstract: 本申请公开了一种气氛可控的小型反应装置，包括反应腔内部形成有密闭的反应空间；进气管道安装在反应腔的腔体上；样品加热台设置在反应空间内；真空管道安装在反应腔的腔体上，用于连接真空泵组；对接口法兰，安装在反应腔的腔体上，设有与反应空间连通的导入通道，用于连接真空腔体。本申请反应腔可与其他超高真空系统相连接，反应腔体积可设置的较小，可应用于昂贵气体以及某些同位素气体的使用，反应效率更高，节省气体使用，大大降低了实验成本；极限真空可达到10‑9mbar量级，与真空设备传样时不会对真空设备的真空腔造成污染，同时通过泵组可以快速将反应腔内部抽至超高真空，从而实现与MBE腔室之间的快速传样。