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公开(公告)号：CN105928949A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610238030.5
申请日：2016-04-18
Applicant: 中国科学院自动化研究所
IPC: G01N21/94
CPC classification number: G01N21/94
Abstract: 本发明公开了一种光学元件表面颗粒物在线监测装置及其在线监测的方法。其中，该装置包括光学反射镜(3，9)、固定架(4)、暗场成像系统(5)、光学反射镜箱体(6)、二暗场照明光源(7)、明场成像系统(8)、线性位移台(12)；其中，所述光学反射镜(3，9)和所述固定架(4)设置在所述光学反射镜箱体(6)上；所述暗场成像系统(5)、所述明场成像系统(8)和所述线性位移台(12)设置在所述固定架(4)上，所述线性位移台(12)带动所述明场成像系统(8)运动；所述二暗场照明光源(7)分别设置在所述光学反射镜(9)的两侧。由此，本发明实施例解决了如何以不同分辨率监测光学元件表面污染物的技术问题。
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公开(公告)号：CN104410775A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201410777930.8
申请日：2014-12-16
Applicant: 中国科学院自动化研究所
Abstract: 本发明提出了一种自动变焦的高分辨率显微视觉成像装置与控制方法，装置包括镜头、CCD传感器、上位机、支架、变倍控制机构、聚焦控制机构，所述变倍控制机构包括变倍驱动舵机、齿轮、接近开关，所述镜头的调焦环上固设有与变倍控制机构中齿轮配合使用的齿条，齿条上设置有与接近开关配合使用的挡片组，所述聚焦控制机构包括聚焦驱动电机、摩擦轮，摩擦轮与所述镜头的对焦环紧密贴合，在工作状态下，由上位机分别控制变倍控制机构和聚焦控制机构实现调焦和对焦，方便容易的实现大范围搜索及小范围定位，帮助显微系统精确瞄准，充分提高显微系统的检测速度。
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公开(公告)号：CN105928949B
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201610238030.5
申请日：2016-04-18
Applicant: 中国科学院自动化研究所
IPC: G01N21/94
Abstract: 本发明公开了一种光学元件表面颗粒物在线监测装置及其在线监测的方法。其中，该装置包括光学反射镜(3，9)、固定架(4)、暗场成像系统(5)、光学反射镜箱体(6)、二暗场照明光源(7)、明场成像系统(8)、线性位移台(12)；其中，所述光学反射镜(3，9)和所述固定架(4)设置在所述光学反射镜箱体(6)上；所述暗场成像系统(5)、所述明场成像系统(8)和所述线性位移台(12)设置在所述固定架(4)上，所述线性位移台(12)带动所述明场成像系统(8)运动；所述二暗场照明光源(7)分别设置在所述光学反射镜(9)的两侧。由此，本发明实施例解决了如何以不同分辨率监测光学元件表面污染物的技术问题。
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公开(公告)号：CN104410775B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201410777930.8
申请日：2014-12-16
Applicant: 中国科学院自动化研究所
Abstract: 本发明提出了一种自动变焦的高分辨率显微视觉成像装置与控制方法，装置包括镜头、CCD传感器、上位机、支架、变倍控制机构、聚焦控制机构，所述变倍控制机构包括变倍驱动舵机、齿轮、接近开关，所述镜头的调焦环上固设有与变倍控制机构中齿轮配合使用的齿条，齿条上设置有与接近开关配合使用的挡片组，所述聚焦控制机构包括聚焦驱动电机、摩擦轮，摩擦轮与所述镜头的对焦环紧密贴合，在工作状态下，由上位机分别控制变倍控制机构和聚焦控制机构实现调焦和对焦，方便容易的实现大范围搜索及小范围定位，帮助显微系统精确瞄准，充分提高显微系统的检测速度。
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