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公开(公告)号:CN106711761B
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN201710031147.0
申请日:2017-01-17
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本发明涉及一种DFB半导体激光器制备方法,包括以下步骤:步骤S11、制备外延片:外延片采用波导和有源区结构;步骤S12、制备基片:在外延片表面的光栅层上制备均匀的部分光栅,并对光栅进行掩埋生长;步骤S13、制备脊型波导:对基片进行脊型控制腐蚀,制备多个脊型波导。本发明还涉及该方法制得的DFB半导体激光器。本发明在制备脊型波导结构时在单颗管芯靠近其中间位置制备多个脊型波导,多个脊型波导相互独立,并且有各自的电流注入区域,其中只要有一个脊型波导的出光特性合格,则该管芯合格,由此制备的芯片工艺简便、与常规工艺兼容,能大幅有效地提高DFB半导体激光器的成品率。
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公开(公告)号:CN107437722B
公开(公告)日:2023-03-28
申请号:CN201610940744.0
申请日:2016-10-25
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
IPC: H01S5/0687
Abstract: 本发明涉及一种半导体激光器的无调制稳频装置及方法,其中该装置包括:半导体激光器、光学鉴频装置、鉴频信号处理单元、激光器综合控制微处理单元以及驱动电路;其中,该激光器根据所述驱动电路提供的驱动电流或驱动电压信号产生激光;光学鉴频装置用于对该激光器产生的激光光束进行分束和检测,以得到鉴频所需的各分束的光信号所对应的电信号;鉴频信号处理单元用于对该电信号进行处理产生误差信号;激光器综合控制微处理单元用于将误差信号转化为调节信号;驱动电路用于根据调节信号输出驱动电流或驱动电压。本发明解决了现有可调谐激光器的稳频采用锁相稳频时控制系统复杂的问题,并且光路结构简单,抗干扰能力强。
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公开(公告)号:CN106450750B
公开(公告)日:2022-10-14
申请号:CN201611117374.7
申请日:2016-12-07
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本发明涉及一种太赫兹光电导相控阵天线系统,包括激光源、光纤耦合器、光延时控制器和太赫兹光电导阵列天线;其中,所述光纤耦合器将激光源产生的泵浦光耦合到光纤中;所述光延时控制器控制光纤耦合器输出的泵浦光的延时时间,产生N束具有不同延时时间的泵浦光;N为大于1的自然数;所述太赫兹光电导阵列天线接收从光延时控制器输出的N束具有不同延时时间的泵浦光,所述太赫兹光电导阵列天线接收从光延时控制器输出的N束具有不同延时时间的泵浦光,每一束泵浦光聚焦照射其对应的偏压天线单元后激发产生太赫兹辐射。本发明通过在光电导天线阵列的泵浦光光路中引进光延时控制器,通过控制辐射相位,提高了天线阵的辐射功率,改变了波束指向角。
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公开(公告)号:CN109084884A
公开(公告)日:2018-12-25
申请号:CN201811023302.5
申请日:2018-09-03
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明实施例涉及一种零差激光测振装置及其振动检测方法,该装置包括激光光源和光学干涉单元,所述激光光源用于发射测量振动所需的激光;所述光学干涉单元包括干涉结构和光束位移分光元件,所述干涉结构用于将激光投射到待测物体上、接收待测物体反射的光,并构造相干光,生成待测光束;所述光束位移分光元件能够将待测光束分为透射光束、第一反射光束和第二反射光束,第一反射光束和第二反射光束的相位差为π/2的奇数倍。利用该装置测振能够避免零差激光测振技术的非线性误差,且该装置结构简单、成本低。
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公开(公告)号:CN108683078A
公开(公告)日:2018-10-19
申请号:CN201810645722.0
申请日:2018-06-21
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
CPC classification number: H01S5/0601 , H01S5/1042
Abstract: 本发明涉及一种波长可调谐的半导体激光器,包括:有源层、波导层和分离限制层;其中,波导层位于有源层和分离限制层之间;波导层包括脊波导和微腔,微腔位于脊波导的一侧。本发明提供的波长可调谐的半导体激光器,利用电调制脊波导的饱和吸收区产生的增益杠杆效应,能够增大半导体激光器的3dB带宽,实现高速调制。本发明提出的半导体激光器还利用半导体激光器侧边上的微腔结构,实现对半导体激光器波长的选择性输出。
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公开(公告)号:CN108365350A
公开(公告)日:2018-08-03
申请号:CN201810119701.5
申请日:2018-02-06
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本发明属于太赫兹辐射技术领域,具体涉及一种太赫兹光电导天线阵列及其用途。本发明的太赫兹光电导天线阵列,在天线阵列中引入了扼流圈,阻止电流扩散到其他天线单元并减小寄生电容,提高了太赫兹光电导天线阵列的输入电阻,提高了匹配效率和辐射效率。与没有扼流圈的天线阵列相比,本发明的光电导天线阵列的输入电阻得到显著提高。较高的输入电阻与低温砷化镓等半导体材料所构成的光照区电阻差距减小,提高了匹配效率和天线的辐射效率,增大了天线的辐射功率或探测灵敏度。
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公开(公告)号:CN107437722A
公开(公告)日:2017-12-05
申请号:CN201610940744.0
申请日:2016-10-25
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
IPC: H01S5/0687
CPC classification number: H01S5/0687
Abstract: 本发明涉及一种半导体激光器的无调制稳频装置及方法,其中该装置包括:半导体激光器、光学鉴频装置、鉴频信号处理单元、激光器综合控制微处理单元以及驱动电路;其中,该激光器根据所述驱动电路提供的驱动电流或驱动电压信号产生激光;光学鉴频装置用于对该激光器产生的激光光束进行分束和检测,以得到鉴频所需的各分束的光信号所对应的电信号;鉴频信号处理单元用于对该电信号进行处理产生误差信号;激光器综合控制微处理单元用于将误差信号转化为调节信号;驱动电路用于根据调节信号输出驱动电流或驱动电压。本发明解决了现有可调谐激光器的稳频采用锁相稳频时控制系统复杂的问题,并且光路结构简单,抗干扰能力强。
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公开(公告)号:CN106711761A
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201710031147.0
申请日:2017-01-17
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
CPC classification number: H01S5/12 , H01S5/2209 , H01S5/221 , H01S5/34366 , H01S5/34373
Abstract: 本发明涉及一种DFB半导体激光器制备方法,包括以下步骤:步骤S11、制备外延片:外延片采用波导和有源区结构;步骤S12、制备基片:在外延片表面的光栅层上制备均匀的部分光栅,并对光栅进行掩埋生长;步骤S13、制备脊型波导:对基片进行脊型控制腐蚀,制备多个脊型波导。本发明还涉及该方法制得的DFB半导体激光器。本发明在制备脊型波导结构时在单颗管芯靠近其中间位置制备多个脊型波导,多个脊型波导相互独立,并且有各自的电流注入区域,其中只要有一个脊型波导的出光特性合格,则该管芯合格,由此制备的芯片工艺简便、与常规工艺兼容,能大幅有效地提高DFB半导体激光器的成品率。
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公开(公告)号:CN108683071B
公开(公告)日:2023-06-09
申请号:CN201810732310.0
申请日:2018-07-05
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
IPC: H01S3/108
Abstract: 本发明涉及一种带有闭环波导结构的周期性极化晶体波导器件及激光器,其中,周期性极化晶体波导器件包括波导层和衬底,波导层位于衬底表面上;其中,波导层包含闭环波导和耦合波导,耦合波导为开环结构,闭环波导为闭环结构;所述耦合波导和闭环波导相交,或者,所述耦合波导和闭环波导不相交,两者最近边缘间距小于1um。本发明提出的带有闭环波导结构的周期性极化晶体波导器件能够在有限的块状晶体中增加非线性作用长度,从而提高晶体器件的非线性转换效率,此外还能降低出光阈值,压窄线宽,提高转换效率,实现高功率输出,减小激光光源整体结构尺寸,同时能实现波长宽可调谐输出。
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公开(公告)号:CN108493581B
公开(公告)日:2023-06-09
申请号:CN201810265152.2
申请日:2018-03-28
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本发明属于太赫兹技术领域,具体涉及一种太赫兹天线结构及包括该天线结构的辐射源和探测器。本发明通过将常规太赫兹天线结构的半导体衬底厚度从几百微米减小到几微米,以及把高介电常数的硅透镜替换成低介电常数的透镜,提高了金属天线的输入电阻,提高了匹配效率和方向性。所述太赫兹天线结构可以有效提高两到三倍的输出功率和探测灵敏度。当天线作为辐射源时,提高了输出功率;当天线作为探测器时,提高了探测灵敏度。
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