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公开(公告)号：CN119881379A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202311371871.X
申请日：2023-10-23
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明提供了一种原子力显微镜成像噪声实时控制方法及系统，包括：零扫描噪声模板建立，对原子力显微镜的零扫描成像形成的零扫描数据进行处理，获得零扫描数据的全部噪声频带，构成噪声扣除模板；其中，所述零扫描成像的过程中，所述原子力显微镜的用于零扫描成像的全部运动维度均保持静止；实时扫描成像噪声抑制，在原子力显微镜实时扫描成像过程中，使用噪声扣除模板进行噪声扣除。本发明的技术方案，针对原子力显微镜的当前环境获得噪声扣除模板，可以应对噪声和振动来源复杂、频谱丰富、时变性强等特点。
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公开(公告)号：CN117233430A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311111254.6
申请日：2023-08-31
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明属于探针制造技术领域，尤其涉及一种用于高深宽比的样本测量探针及其制作方法，包括：探针探测部、悬臂梁以及探针主体；沿所述探针探测部底部中轴上贴附设有悬臂梁，探针主体与悬臂梁中轴相贴接，且所述探针主体沿悬臂梁向外延展设置；探针主体，包括：一体结构的探针针臂和探针针尖，悬臂梁首端端与悬臂梁固接，探针针尖固设于悬臂梁末端。本发明的有益效果在于，本发明可应用于大尺寸半导体样品和生物样品，在半导体行业中，准确测量大尺寸深沟槽的关键尺寸对于制造工艺控制和器件性能优化至关重要。传统测量方法通常需要切割这些深沟槽结构，并使用SEM进行成像。通过本探针可以直接在AFM系统上实现这种深沟槽结构的测量。
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公开(公告)号：CN112964909B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202010973495.1
申请日：2020-09-16
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明涉及一种原子力显微镜多探针同时独立运动测量方法与装置，包括并列设置的至少两个悬梁臂，每个悬梁臂末端均设有针尖；所述悬梁臂表面设有周期性分布规律的光栅结构，用于将照射到光栅结构的激光进行反射、并通过反射光探测器接收。本发明一套光路系统实现超近距离多个探针的区分与运动测量。具体方法是将不同波长的测量激光经过相同光路同时照射在多探针背面，采用不同特征尺寸的光栅结构作为多探针的物理标签，不同波长激光的高阶反射光被光栅结构以不同角度反射，从而达到分离光路的目的。
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公开(公告)号：CN109925161B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN201711364627.5
申请日：2017-12-18
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及一种盂肱关节仿生助力柔性外骨骼机构，盂肱前伸/后缩关节包括通过旋转装置转动连接的盂肱前伸/后缩执行臂和盂肱前伸/后缩支撑臂，盂肱内旋/外旋关节包括通过旋转装置转动连接的盂肱内旋/外旋执行臂和盂肱内旋/外旋支撑臂，盂肱外展/内收关节包括通过旋转装置转动连接的盂肱外展/内收执行臂和盂肱外展/内收支撑臂，盂肱前伸/后缩支撑臂与盂肱内旋/外旋执行臂之间以及盂肱内旋/外旋支撑臂与盂肱外展/内收执行臂之间相互连接；各旋转装置均与各自的套索驱动单元连接，由各自的套索驱动单元提供前伸/后缩、内旋/外旋及外展/内收的驱动力矩。本发明解决了偏瘫患者盂肱关节康复训练问题，同时有效避免人机肩部运动奇异位形，提高人机运动相容性。
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公开(公告)号：CN115887170A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202110917147.7
申请日：2021-08-11
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及医用康复训练和助力设备，具体地说是一种多自由度拇指辅助的软体康复外骨骼机器人，包括软体外骨骼手套、肌腱拉力线、柔性连杆、驱动装置及控制系统，肌腱拉力线一端连接直线驱动器，另一端连接软体外骨骼手套用以驱动拇指的外展/内收和弯曲/伸展两个自由度；柔性连杆一端与拇指指套铰接，另一端与手背结构件铰接，并通过肌腱拉力线的收缩沿着滑动槽移动，从而驱动拇指的内收和外展运动；肌腱拉力线连接拇指背侧驱动拇指的伸展运动，另一根拉力线连接拇指掌侧驱动拇指的弯曲运动。本发明可以有效地助力中风患者的拇指运动，以完成所需的训练任务，尺寸小、重量轻、具有非常好的可穿戴性，便于手功能障碍的患者在日常生活中实用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113308359A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110568866.2
申请日：2021-05-25
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明具体说是基于气动环形模具的生物细胞刺激系统及其控制方法，包括：环形培养模具、气泵设备；环形培养模具设于培养皿内，且通过导气管与气泵设备连接；环形培养模具包括：上部模具、下部模具和模具底座；上部模具与下部模具之间、下部模具和模具底座之间密封连接，形成体积可变的环形环形培养模具；模具底座设于培养皿内；上部模具上开设有通孔，气泵设备通过导气管经通孔与下部模具连接。由于本发明在细胞组织培养分化促进应用中无特殊要求，无需对细胞样品进行复杂的处理，并且可以实现培养与刺激一体化，有效减小了细胞组织在培养与刺激过程中的损坏与染菌几率，在骨骼肌组织工程、药物筛选、及以肌细胞为驱动单元的类生命机器人的研究。
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公开(公告)号：CN113043318A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201911367135.0
申请日：2019-12-26
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及一种盂肱关节仿生机构及盂肱关节角度识别方法，机构包括肩部前伸后缩固定架、外展内收固定架及位于该肩部前伸后缩固定架与外展内收固定架之间的两个球面菱形机构，每个球面菱形机构的四条边均为弧形，且相邻边均通过转轴转动连接，一个球面菱形机构的一个端点处的转轴安装于肩部前伸后缩固定架上，相对的端点与另一个球面菱形机构的一个端点共用一根转轴，另一个球面菱形机构上相对的端点处的转轴安装于外展内收固定架上；肩部前伸后缩固定架连接于人体大臂，外展内收固定架与人体背部连接。本发明的球面菱形机构分布在人体盂肱关节外侧，可有效避免大范围外展运动中外骨骼与人体头部干涉，大幅提升肩部运动灵活性。
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公开(公告)号：CN112964909A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202010973495.1
申请日：2020-09-16
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明涉及一种原子力显微镜多探针同时独立运动测量方法与装置，包括并列设置的至少两个悬梁臂，每个悬梁臂末端均设有针尖；所述悬梁臂表面设有周期性分布规律的光栅结构，用于将照射到光栅结构的激光进行反射、并通过反射光探测器接收。本发明一套光路系统实现超近距离多个探针的区分与运动测量。具体方法是将不同波长的测量激光经过相同光路同时照射在多探针背面，采用不同特征尺寸的光栅结构作为多探针的物理标签，不同波长激光的高阶反射光被光栅结构以不同角度反射，从而达到分离光路的目的。
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公开(公告)号：CN110134002B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201810131252.6
申请日：2018-02-09
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明通过获得加工深度与相位值的信息，最终实现纳米材料不同深度表面缺陷的精确加工。本发明涉及一种基于超声AFM闭环系统的可控深度表面缺陷加工方法。方法包括建立超声加工相位与施加机械力信号函数模型,代入相关加工参数获得机械力信号Z向初始值的范围；开环模式下获得实际相位差值‑机械力曲线及最优Z向初始值；结合AFM加工结果获得纳米材料不同加工深度的相位值；结合最优Z向初始值及预定深度的相位值，实现设定加工深度的闭环加工。通过本发明的这种方法，实现了最优化开环加工，并根据加工材料深度与相位的关系进行闭环反馈，最终实现纳米材料不同深度表面缺陷的精确加工，克服了传统AFM无法精确控制加工深度的缺点。
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公开(公告)号：CN108732387B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201710259175.8
申请日：2017-04-20
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及一种SICM的探针样品距离控制方法及系统。方法包括：扫描前建立下降沿补偿函数模型；成像过程中记录上一像素行扫描高度，作为当前待扫描行的预测值；将探针实时位置与预测高度的差值作为参数输入到下降沿补偿函数模型，得到下降沿补偿系数；进行上升沿下降沿判断，更新得到新的电流偏差；将新的电流偏差反馈给控制器，控制压电陶瓷上下运动，使探针始终与样品保持恒距。系统包括：逼近曲线模块、下降沿补偿函数模型建立模块、行预测模块、反馈控制模块。本发明解决了逼近曲线非线性所带来的样品上升下降沿偏差不同的问题，因而可以消除SICM成像的下降沿模糊现象，与使用传统PID控制相比成像更加准确。
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