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公开(公告)号：CN116730276A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202210214889.8
申请日：2022-03-04
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS红外光源及其制作方法，MEMS红外光源包括：衬底、支撑层、调节发射结构、加热结构和电极结构；所述调节发射结构包括：第一金属层、介质层和第二金属层；所述第一金属层贴合在所述介质层的下方，所述第二金属层贴合在所述介质层的上方，所述第一金属层与所述支撑层连接；所述加热结构贴合在所述介质层的上方，所述加热结构与所述第二金属层间隙配合，所述加热结构与所述电极结构电连接；所述支撑层与所述衬底连接，所述支撑层用于将调节发射结构固定在衬底上。本发明能够提高MEMS红外光源的调制特性。
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