公开(公告)号：CN114614796A

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202210200789.X

申请日：2022-03-02

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 裴雨多 ,  齐月静 ,  李璟 ,  王丹 ,  武志鹏 ,  杨光华 ,  陈进新 ,  丁敏侠

IPC: H03H17/06

Abstract: 本公开提供一种用于硅片表面高度测量的数字滤波装置及方法，装置包括：获取模块，用于获取滤波参数和/或对所述滤波参数进行设置；滤波模块，用于根据所述滤波参数对硅片表面高度的测量信号进行数字滤波，以滤除低频噪声、高频噪声以及白噪声；控制模块，用于将所述测量信号输入至所述滤波模块以及控制所述滤波模块根据滤波参数对硅片表面高度的测量信号进行数字滤波。该数字滤波装置及方法可以提高测量信号质量，使硅片表面高度测量数值更加精确。并且，可以根据不同的工作环境对滤波参数进行设置，有效提高硅片表面高度测量精度，且可扩展性强，实现成本较低。

公开(公告)号：CN113916132B

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202111113530.3

申请日：2021-09-23

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 裴雨多 ,  齐月静 ,  武志鹏 ,  李璟 ,  丁敏侠 ,  马会娟 ,  折昌美

IPC: G01B11/02 ,  G01B11/03

Abstract: 本公开提供一种用于硅片高度测量的信号处理方法，包括：获取运动台位置信号，其中，所述运动台位置信号包括运动台位置脉冲信号及运动台位置坐标信号；对所述运动台位置脉冲信号进行延时处理，根据延时处理前后的运动台位置脉冲信号产生驱动信号以驱动高度信号的测量；对所述高度信号进行数字滤波处理，并将所述运动台位置坐标信号与滤波后的高度信号进行拟合计算，得到硅片高度数据。本公开还提供一种用于硅片高度测量的信号处理装置电子设备及计算机可读存储介质。

公开(公告)号：CN113916132A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202111113530.3

申请日：2021-09-23

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 裴雨多 ,  齐月静 ,  武志鹏 ,  李璟 ,  丁敏侠 ,  马会娟 ,  折昌美

IPC: G01B11/02 ,  G01B11/03

Abstract: 本公开提供一种用于硅片高度测量的信号处理方法，包括：获取运动台位置信号，其中，所述运动台位置信号包括运动台位置脉冲信号及运动台位置坐标信号；对所述运动台位置脉冲信号进行延时处理，根据延时处理前后的运动台位置脉冲信号产生驱动信号以驱动高度信号的测量；对所述高度信号进行数字滤波处理，并将所述运动台位置坐标信号与滤波后的高度信号进行拟合计算，得到硅片高度数据。本公开还提供一种用于硅片高度测量的信号处理装置电子设备及计算机可读存储介质。