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公开(公告)号：CN116487982A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310395963.5
申请日：2023-04-13
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本公开提供一种控制激光相干长度的装置及方法，装置包括：激光器、色散部件和发散角控制部件；所述色散部件设置于所述激光器输出激光的光路上，激光光束在输出之前以第一角度入射到所述色散部件后发生色散，使得出射激光光束的各光谱成分按照顺序依次排列，所述第一角度可变，激光光束的色散随着所述第一角度的变化而相应变化；所述发散角控制部件设置于经所述色散部件色散的出射激光光束的光路上，可对该出射激光光束的发散角的大小进行控制，相较于现有技术，本公开可以通过改变光束经过色散部件的色散和/或光束发散角，实现连续调节输出激光相干长度的目的。
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公开(公告)号：CN116231430A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310037876.2
申请日：2023-01-10
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本公开提供了一种激光器谐振腔中角度反射镜的调节方法和装置，该方法包括：设置OC耦合输出镜，使OC耦合输出镜与激光器的激光增益介质和前腔镜构成子谐振腔，产生基准激光；在OC耦合输出镜与角度反射镜之间设置第一孔径光阑，调节角度反射镜，使角度反射镜和孔径光阑中心对准；按估计反射角度放置角度反射镜，为保持角度反射镜的俯仰角不变，在角度反射镜的反射方向上设置第二孔径光阑，调整角度反射镜，使角度反射镜反射的基准激光经过第二孔径光阑的中心；调节角度反射镜的高度，使基准激光再次对准角度反射镜的中心；测量经过角度反射镜反射的基准激光的功率，调整角度反射镜的偏航角，直到功率最大。
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公开(公告)号：CN219874441U
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202320824947.9
申请日：2023-04-13
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本公开提供一种激光相干长度可调的装置，装置包括：激光器、色散部件和发散角控制部件；所述色散部件设置于所述激光器输出激光的光路上，激光光束在输出之前以第一角度入射到所述色散部件后发生色散，使得出射激光光束的各光谱成分按照顺序依次排列，所述第一角度可变，激光光束的色散随着所述第一角度的变化而相应变化；所述发散角控制部件设置于经所述色散部件色散的出射激光光束的光路上，可对该出射激光光束的发散角的大小进行控制，相较于现有技术，本公开可以通过改变光束经过色散部件的色散和/或光束发散角，实现连续调节输出激光相干长度的目的。
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