一种集成主动阻尼的精密运动平台及其控制架构

    公开(公告)号:CN115208124B

    公开(公告)日:2022-12-20

    申请号:CN202211125355.4

    申请日:2022-09-16

    Abstract: 本发明公开了一种集成主动阻尼的精密运动平台及其控制架构,所述平台包括基座及安装于基座上的音圈作动电机、主动阻尼电机和柔性导向机构,音圈作动电机包括作动定子组件和作动动子组件,作动动子组件传递出音圈作动力;主动阻尼电机包括阻尼定子组件和阻尼动子组件,阻尼动子组件产生输出阻尼力;柔性导向机构与音圈作动电机和主动阻尼电机均相连;音圈作动电机输出的音圈作动力和主动阻尼电机输出的输出阻尼力共同作用于柔性导向机构上,使其受力变形,通过变形传递力和运动。本发明提供了一种结构紧凑、动子轻量化、力密度高及能够有效驱动运动平台达到纳米级的高精度或实现高速定位的精密运动平台。

    一种集成主动阻尼的精密运动平台及其控制架构

    公开(公告)号:CN115208124A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202211125355.4

    申请日:2022-09-16

    Abstract: 本发明公开了一种集成主动阻尼的精密运动平台及其控制架构,所述平台包括基座及安装于基座上的音圈作动电机、主动阻尼电机和柔性导向机构,音圈作动电机包括作动定子组件和作动动子组件,作动动子组件传递出音圈作动力;主动阻尼电机包括阻尼定子组件和阻尼动子组件,阻尼动子组件产生输出阻尼力;柔性导向机构与音圈作动电机和主动阻尼电机均相连;音圈作动电机输出的音圈作动力和主动阻尼电机输出的输出阻尼力共同作用于柔性导向机构上,使其受力变形,通过变形传递力和运动。本发明提供了一种结构紧凑、动子轻量化、力密度高及能够有效驱动运动平台达到纳米级的高精度或实现高速定位的精密运动平台。

    一种中空式一维精密定位平台
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110842881A

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201911260903.2

    申请日:2019-12-10

    Abstract: 本发明提供一种中空式一维精密定位平台,将音圈电机与导向机构设计为轴向中空结构,沿轴向将导向机构设置在采用音圈电机的两端,导向机构由柔性导向结构与沿轴向设置在柔性导向结构两端的支架组成,其中柔性导向结构由包含簧片,并且呈径向中空结构的柔性导向单元组成。工作状态时,动子沿轴向运动,带动两个导向机构中的支架产生轴向位移,从而使两个导向机构中的弹性簧片发生形变。与现有技术相比,本发明的精密定位平台具有导向机构径向尺寸小、平台紧凑,利于光路传播,音圈电机在轴向以外的其他方向的运动自由度被约束,以及双端输出等优点。

    运动阻尼可调的高精度直线运动装置

    公开(公告)号:CN116418192A

    公开(公告)日:2023-07-11

    申请号:CN202111663874.1

    申请日:2021-12-31

    Abstract: 本发明公开了一种运动阻尼可调的高精度直线运动装置。所述高精度直线运动装置包括定子组件和动子组件,所述定子组件包括第一定子和第二定子;所述动子组件包括直线导向动子骨架以及固定设置在所述直线导向动子骨架上的第一动子和第二动子,所述第一定子和第一动子中的一者为电磁体,另一者为电磁体或永磁体,所述第二定子和第二动子中的一者为电磁体,另一者为导体;所述第一定子和第一动子之间能够产生驱使所述动子组件趋向第三方向直线运动的作动力,所述第二定子和第二动子之间能够产生驱使所述动子组件趋向第四方向直线运动的安培力。本发明提供的高精度直线运动装置能够实现快速稳定的高精度推力和位移输出。

    一种平面三自由度精密定位平台、其使用方法与控制方法

    公开(公告)号:CN110905909B

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN201911262018.8

    申请日:2019-12-10

    Abstract: 本发明提供了一种平面三自由度精密定位平台、其使用方法与控制方法。该定位平台包括基座以及位于基座上的动平台、传动机构以及四个音圈电机;传动机构包含四条柔性支链,每条柔性支链包含三个柔性P单元与一个柔性R单元,通过柔性P单元的结构设计、各柔性P单元的连接设计、柔性R单元的结构设计以及与柔性P单元的连接设计实现了沿X轴与Y轴的平动以及绕Z轴的转动。与现有技术相比,本发明解决了传动机构的运动范围与运动刚度和运动精度之间的矛盾,定位平台具有大运动范围、高输出刚度和高运动精度;同时可有效弥补音圈电机推力不足的问题,冗余驱动支链的加入减小了音圈电机的驱动力峰值要求。

    一种平面三自由度宏微定位平台及其控制方法

    公开(公告)号:CN116557716A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310488896.1

    申请日:2023-05-04

    Abstract: 一种平面三自由度宏微定位平台,包括基座,以及:设于基座上的宏动组件,包括宏动平台、四个宏动支链和四个宏线性驱动件,宏动支链滑动连接于基座,且四个宏动支链分别通过宏弹簧片连接至宏动平台的四角;四个宏线性驱动件分别作用于四条宏动支链;设于宏动平台上的微动组件,包括微动平台、四个微动支链和四个微线性驱动件,微动支链滑动连接于宏动平台,且四个微动支链分别通过微弹簧片连接至微动平台的四角;四个微线性驱动件分别作用于四条微动支链,从而使得微动平台既能横向移动又能横向转动,具备多个自由度,且同时满足大行程和高精度的性能要求。本公开还提供一种平面三自由度宏微定位平台的控制方法。

    一种平面三自由度精密定位平台、其使用方法与控制方法

    公开(公告)号:CN110905909A

    公开(公告)日:2020-03-24

    申请号:CN201911262018.8

    申请日:2019-12-10

    Abstract: 本发明提供了一种平面三自由度精密定位平台、其使用方法与控制方法。该定位平台包括基座以及位于基座上的动平台、传动机构以及四个音圈电机;传动机构包含四条柔性支链,每条柔性支链包含三个柔性P单元与一个柔性R单元,通过柔性P单元的结构设计、各柔性P单元的连接设计、柔性R单元的结构设计以及与柔性P单元的连接设计实现了沿X轴与Y轴的平动以及绕Z轴的转动。与现有技术相比,本发明解决了传动机构的运动范围与运动刚度和运动精度之间的矛盾,定位平台具有大运动范围、高输出刚度和高运动精度;同时可有效弥补音圈电机推力不足的问题,冗余驱动支链的加入减小了音圈电机的驱动力峰值要求。

    一种中空式一维精密定位平台

    公开(公告)号:CN212044603U

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN201922201506.X

    申请日:2019-12-10

    Abstract: 本实用新型提供一种中空式一维精密定位平台,将音圈电机与导向机构设计为轴向中空结构,沿轴向将导向机构设置在采用音圈电机的两端,导向机构由柔性导向结构与沿轴向设置在柔性导向结构两端的支架组成,其中柔性导向结构由包含簧片,并且呈径向中空结构的柔性导向单元组成。工作状态时,动子沿轴向运动,带动两个导向机构中的支架产生轴向位移,从而使两个导向机构中的弹性簧片发生形变。与现有技术相比,本实用新型的精密定位平台具有导向机构径向尺寸小、平台紧凑,利于光路传播,音圈电机在轴向以外的其他方向的运动自由度被约束,以及双端输出等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种平面三自由度精密定位平台

    公开(公告)号:CN211343699U

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN201922215282.8

    申请日:2019-12-10

    Abstract: 本实用新型提供了一种平面三自由度精密定位平台。该定位平台包括基座以及位于基座上的动平台、传动机构以及四个音圈电机;传动机构包含四条柔性支链,每条柔性支链包含三个柔性P单元与一个柔性R单元,通过柔性P单元的结构设计、各柔性P单元的连接设计、柔性R单元的结构设计以及与柔性P单元的连接设计实现了沿X轴与Y轴的平动以及绕Z轴的转动。与现有技术相比,本实用新型解决了传动机构的运动范围与运动刚度和运动精度之间的矛盾,定位平台具有大运动范围、高输出刚度和高运动精度;同时可有效弥补音圈电机推力不足的问题,冗余驱动支链的加入减小了音圈电机的驱动力峰值要求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种阻尼可调的驱动导向一体化精密运动平台

    公开(公告)号:CN218102857U

    公开(公告)日:2022-12-20

    申请号:CN202222461226.4

    申请日:2022-09-16

    Abstract: 本实用新型公开了一种阻尼可调的驱动导向一体化精密运动平台,所述平台包括基座及安装于基座上的音圈作动电机、主动阻尼电机和柔性导向机构,音圈作动电机包括作动定子组件和作动动子组件,作动动子组件传递出音圈作动力;主动阻尼电机包括阻尼定子组件和阻尼动子组件,阻尼动子组件产生输出阻尼力;柔性导向机构与音圈作动电机和主动阻尼电机均相连;音圈作动电机输出的音圈作动力和主动阻尼电机输出的输出阻尼力共同作用于柔性导向机构上,使其受力变形,通过变形传递力和运动。本实用新型提供了一种结构紧凑、动子轻量化、力密度高及能够有效驱动运动平台达到纳米级的高精度或实现高速定位的精密运动平台。

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