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公开(公告)号:CN113984484B
公开(公告)日:2022-03-04
申请号:CN202111625998.0
申请日:2021-12-29
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所 , 北京理工大学
IPC: G01N1/32
Abstract: 本发明属于样品表面处理技术领域,旨在解现有技术中的离子切割装置无法定量的多次重复切割和重复定位的问题,具体涉及一种纳米刻蚀精度多次离子切割装置,包括总控中心、宽离子束源、恒温系统、样品传输台、样品刻蚀真空舱、宽离子束源真空舱、真空泵和真空规,真空泵与真空规与宽离子束源真空舱连接,宽离子束源真空舱与样品刻蚀真空舱通过滑轨组件连接,宽离子束源真空舱与样品刻蚀真空舱构成一密闭舱体;宽离子束源真空舱的顶部装设有真空舱盖板,真空舱盖板上开设有透明观察窗,其位于离子束汇聚点的正上方;宽离子束源包括一个或者多个离子枪,用于产生宽离子束对样品切片;通过本发明可实现离子切割的重复高精度切割、定位。
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公开(公告)号:CN113252717B
公开(公告)日:2021-09-10
申请号:CN202110658431.7
申请日:2021-06-15
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01N23/2202
Abstract: 本发明属于扫描电镜技术领域,具体涉及一种冷冻电镜样品智能化制备系统、方法、电子设备,旨在解决现有的冷冻电镜样品制备装置截面质量差、位置精度低的问题;系统包括总控中心、超低温液体池、用于对待加工样品限位的样品保持机构、用于切割/抛光样品的样品加工机构、位置调节机构以及用于转移加工完成样品的样品转移机构;在工作过程中,总控中心基于目标样品类型控制超低温液体池提供预设温度环境,基于样品保持机构在第一腔室中的位置信息启动位置调节机构以带动样品加工机构按照预设加工路线进行加工,基于转移至第二腔室中的加工完成的样品信息启动样品转移机构进行预设环境的转移;通过本发明可实现高质量、高精度的冷冻电镜样品制备。
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公开(公告)号:CN113109376A
公开(公告)日:2021-07-13
申请号:CN202110658415.8
申请日:2021-06-15
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01N23/2204 , G01N23/2251 , H01J37/28
Abstract: 本发明属于扫描电镜技术领域,具体涉及一种冷冻电镜样品转移系统、方法、电子设备,旨在解决冷冻电镜样品在转移过程中发生变化的问题;系统包括总控中心、转移台基座、转移装置、传输杆、移动装置、旋转装置和真空对接机构;移动装置包括第一动力装置、第一传动组件、传动丝杆、转移杆滑轨、移动滑块和限位滑块,旋转装置包括第二动力装置和第二传动组件;由移动滑块、限位滑块、传输杆构成的移动组件移动至传输杆与转移装置对接,限位滑块与第二传动组件锁定;由传输杆、限位滑块、第二传动组件构成的旋转组件旋转至传输杆与转移装置锁定;转移装置与移动组件移动至真空对接机构;本发明有效防止转移过程中样品结构、性质改变。
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公开(公告)号:CN110355455B
公开(公告)日:2020-06-16
申请号:CN201910711694.2
申请日:2019-08-02
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明提供一种氩离子切割装置,涉及样品表面处理技术。氩离子切割装置,包括氩离子源、样品台、离子束挡板、底座和驱动装置;离子束挡板位于氩离子源与样品台之间,且离子束挡板遮蔽部分氩离子源射向样品的氩离子束;样品台和离子束挡板固定在底座上;驱动装置与底座连接以带动底座移动、转动。本发明的氩离子切割装置通过移动、转动底座确保增大样品切割面的宽度的同时,防止产生离子划痕。
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公开(公告)号:CN110605467A
公开(公告)日:2019-12-24
申请号:CN201910894177.3
申请日:2019-09-20
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: B23K10/00
Abstract: 本发明提供一种离子切割校准装置、校准方法及离子切割装置。该离子切割校准装置包括第一校准组件和第二校准组件,第一校准组件具有第一校准面,第二校准组件具有第二校准面;待校准样品和样品托板设置在第一校准面上,以调整待校准样品在样品托板上的位置,并形成初校准样品;初校准样品设置在第二校准面上,第二校准面与离子切割装置的挡板相对设置,以调整初校准样品与离子切割装置的挡板的相对位置,并形成校准样品。该离子切割装置包括离子发生器、挡板以及上述的离子切割校准装置。本发明提高了校准装样的准确性,减少了校准样品表面的离子划痕,缩短了离子切割的时间,从而提高了离子切割的效率。
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公开(公告)号:CN117054460B
公开(公告)日:2023-12-08
申请号:CN202311318990.9
申请日:2023-10-12
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
Abstract: 义。本发明涉及地质勘探技术领域,具体涉及一种基于冷冻电镜计算不同流体饱和度的方法,旨在解决常温或加热下实验分析导致流体散失严重,各流体饱和度被错误判断问题。本发明包括:采集冷冻状态孔隙分布图像和冷冻状态有机物质+水分布图像;采集目标元素C的面分布图像并与冷冻状态有机物质+水分布图像叠加获得水的分布图像和有机物质的分布图像;升温样品,使烃类和水逐步散失;采集升温样品的二次电子信号图像,分别获得烃类散失新增孔隙分布图像和水散失新增孔隙分布图像;进而计算不同物质组分的孔隙度;根据各孔隙度,计算不同流体饱和
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公开(公告)号:CN116609203B
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN202310896766.1
申请日:2023-07-21
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
Abstract: 本发明公开一种集加热与观测于一体的细观力学测试系统及方法,涉及力学测试领域,系统包括:控制及采集模块、加载模块、真空模块和观测模块;加载模块和观测模块均与控制及采集模块连接;加载模块,用于对细观待测样品施加力学测试所需的载荷,并将力学测试数据传输至所述控制及采集模块;真空模块,用于向细观待测样品提供实时加热和力学测试的真空空间;观测模块,用于采集细观待测样品在力学测试过程中的影像数据,并将影像数据传输至所述控制及采集模块。本发明克服了现有技术中无法同时进行实时加热、力学加载和同步观测的缺陷,能更精确地掌握细观待测样品在实时高温条件下力学加载过程中的持续动态变化过程。
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公开(公告)号:CN115229316A
公开(公告)日:2022-10-25
申请号:CN202211149001.3
申请日:2022-09-21
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
Abstract: 本发明涉及抛光技术领域,尤其涉及一种离子切割校准系统及方法,旨在解决校准装样过程中多角度观察样品和挡板关系时样品和挡板会移出显微镜视野范围且失焦,导致校准过程复杂效率低下的问题。本发明提供的离子切割校准系统,包括样品切割台、粗校准装置、显微观测装置和翻转台;翻转台包括翻转板,翻转板配置为带动样品切割台在竖直平面内摆动;翻转板的摆动轴线与离子束遮挡板的顶面靠近样品的侧边共线。本发明通过翻转台、显微观测装置、样品切割台和粗校准装置的配合使用,避免了显微镜失焦以及超出观测范围的问题,减少了显微镜的设置,提高了校准效率和精度。
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公开(公告)号:CN110676148B
公开(公告)日:2020-07-28
申请号:CN201910966463.6
申请日:2019-10-12
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: H01J37/21 , H01J37/08 , H01J37/305
Abstract: 本发明提供一种可控束斑离子发射装置及抛光蚀刻方法,该可控束斑离子发射装置包括均为圆桶且同轴设置的气体电离装置、离子加速电极、束斑调节装置以及离子发射装置固定容器,其中束斑调节装置上设置有至少两个聚焦电极,气体电离装置、离子加速电极、聚焦电极皆独立与不同的高压直流电源相连,离子束从气体电离装置引出,经离子加速电极加速后,通过给束斑调节装置聚焦电极设置不同电压,能够调节束斑直径,改变离子束的聚散状态,使得离子抛光装置能够对样品抛光蚀刻的区域灵活调整,使得离子束聚焦于需要曝光蚀刻的区域,而无需对样品的其他区域进行抛光蚀刻,从而提高抛光蚀刻的效率;同时,避免破坏样品上无需抛光蚀刻的区域。
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公开(公告)号:CN110779941A
公开(公告)日:2020-02-11
申请号:CN201911058590.2
申请日:2019-11-01
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01N23/2202 , G01N23/2251 , G01N1/28
Abstract: 本发明提供一种电镜样品制作方法及电镜样品制作装置,该方法包括:首先在待测柔性屏幕上形成截面标记,然后将待测柔性屏幕放置在机械裁剪装置上的样品安装孔内,机械裁剪装置上设置有贯穿至样品安装孔的刀片安装孔,截面标记正对刀片安装孔,之后使刀片在刀片安装孔内向样品安装孔内移动,并沿截面标记切割待测柔性屏幕,以使形成断面;通过在待测柔性屏幕上形成截面标记,再利用机械裁剪装置对待测柔性屏幕进行切割,与液氮脆断的方式相比,通过刀片切割待测柔性屏幕,截面标记正对刀片安装孔,进而沿截面标记形成断面,可以实现对断面位置的控制,断面位置较为准确。
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