公开(公告)号：CN118448499A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410578747.9

申请日：2024-05-10

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 翟慎强 ,  陈雨 ,  刘舒曼 ,  朱怡璇 ,  张锦川 ,  刘俊岐 ,  刘峰奇

IPC: H01L31/101 ,  H01L31/0352

Abstract: 本发明提供一种甚长波量子级联探测器，包括：沿着第一方向依次堆叠的衬底、第一接触层、周期单元功能层和第二接触层；其中，所述周期单元功能层包括L个周期单元，L为大于2的整数，每一个所述周期单元包括：沿着所述第一方向依次堆叠的吸收区和弛豫区；所述吸收区包括沿着所述第一方向堆叠的一个第一势垒层和两个第一量子阱，所述一个第一势垒层位于所述两个第一量子阱之间；所述弛豫区包括沿着所述第一方向堆叠的M个第二势垒层和M‑1个第二量子阱，所述M‑1个量子阱交替位于所述M个第二势垒层之间，M为大于2的整数，且所述M个第二势垒层中任一势垒层的能量均高于所述第一势垒层。本发明能有效降低暗电流噪声，提升器件性能。