公开(公告)号：CN116818712A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202210279337.5

申请日：2022-03-21

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 姚家琪 ,  谢亮 ,  龚萍 ,  袁文洋

IPC: G01N21/39

Abstract: 一种多种痕量气体浓度测量装置，包括：激光模块，适用于输出测量光束，测量光束的波长范围包括多种待测气体的多个吸收峰，并在多个吸收峰位置上分别叠加不同频率的第一调制信号；气室；转换单元，适用于将从气室中射出的测量光束转换为电信号，电信号叠加有不同频率的第一调制信号；处理模块，包括锁相处理电路，被配置成对电信号进行相敏检波及窄带滤波，以获得多个待测气体中的多个目标吸收峰对应的波长处由于吸收产生的多个不同频率的谐波信号；除法电路，被配置成采用谐波信号中的一次谐波信号对二次谐波信号进行归一化；计算电路，被配置成根据经归一化的二次谐波信号与待测气体浓度的函数关系进行数值拟合，得到各个待测气体的浓度信息。

公开(公告)号：CN116519596A

公开(公告)日：2023-08-01

申请号：CN202310505005.9

申请日：2023-05-06

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 袁文洋 ,  谢亮 ,  龚萍 ,  姚佳琪 ,  焦明奇 ,  周健

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/17

Abstract: 一种气体浓度检测装置，包括：光声机构，包括：光声池，内部充有校准气体；激光发射模块，适用于发出标定激光信号，标定激光信号为被第一调制信号调制的激光信号；微音器，适用于将第一声压信号转换为第一电流信号；光电探测器，适用于对透过光声池的标定激光信号进行探测，得到不同时刻的光电流信号；处理机构，适用于根据不同时刻的光电流信号得到光电流信号随时间的变化曲线，适用于对变化曲线进行归一化处理，得到归一化吸收峰曲线，以及适用于根据吸收峰曲线和第一电流信号得到光声池的池常数，池常数适用于实现对光声机构的标定。

公开(公告)号：CN118549702A

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202310163955.8

申请日：2023-02-24

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 焦明奇 ,  姜宇轩 ,  袁文洋 ,  雷从彪 ,  钟光诚 ,  谢亮

IPC: G01R23/14 ,  G01R23/16 ,  G01D18/00 ,  H04B10/07 ,  H04B10/079

Abstract: 本公开提供一种光电探测器和电光强度调制器频率响应的测量装置和方法，测量装置包括：激光器；第一耦合器将光载波分为第一光信号和第二光信号；第一调制单元接收第一光信号，经过调制后得到第一载波单边带光信号；第二调制单元接收第二光信号，经过调制后得到第二载波单边带光信号；第二耦合器将第一载波单边带光信号和第二载波单边带光信号合束得到第三光信号；电光强度调制器将扫频微波电信号调制到第三光信号上，产生多个扫频光边带信号；光电探测器将多个扫频光边带信号之间互相拍频产生频率分量；频谱分析仪测量频率分量的功率，计算光电探测器在频率分量的频率响应得到光电探测器的频率响应曲线和电光强度调制器的频率响应曲线。