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公开(公告)号：CN116818712A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202210279337.5
申请日：2022-03-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01N21/39
Abstract: 一种多种痕量气体浓度测量装置，包括：激光模块，适用于输出测量光束，测量光束的波长范围包括多种待测气体的多个吸收峰，并在多个吸收峰位置上分别叠加不同频率的第一调制信号；气室；转换单元，适用于将从气室中射出的测量光束转换为电信号，电信号叠加有不同频率的第一调制信号；处理模块，包括锁相处理电路，被配置成对电信号进行相敏检波及窄带滤波，以获得多个待测气体中的多个目标吸收峰对应的波长处由于吸收产生的多个不同频率的谐波信号；除法电路，被配置成采用谐波信号中的一次谐波信号对二次谐波信号进行归一化；计算电路，被配置成根据经归一化的二次谐波信号与待测气体浓度的函数关系进行数值拟合，得到各个待测气体的浓度信息。
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